ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО
ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ
Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы Й
С Т А Н Д А Р Т
Р О С С И Й С К О Й
Ф Е Д Е Р А Ц И И
ГОСТР
8
.
659
-
2009
Государственная система обеспечения единства
измерений
СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ ХАРАКТЕРИСТИК
УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ
ПРИ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОМ КОНТРОЛЕ
В НАНОФОТОЛИТОГРАФИИ
Методика поверки
Издание официальное
СЧ
S
°
I
п
Москва
Стандартииформ
2010
мода кружево