ГОСТР ИСО 13067—2016
3.3.5ориентация формы зерна (grain shape orientation): Угол между главной осью эллипса, с
помощью которого аппроксимируется зерно, и горизонтальным направлением. Этот угол обычно отсчи
тывается против часовой стрелки.
3.4 Терминология, связанная с коррекцией данных и неточностью ДОЭ-карт
3.4.1 неверное индицирование (misindexing): Присвоение некорректной ориентации или фазы
измеряемой дифракционной картине.
П р и м е ч а н и е — Неверное индицирование может произойти по различным причинам, например, из-за
эффектов псевдосимметрии, попытки проиндицировать недостаточно четкую дифракционную картину или диф
ракционную картину из фазы, которую нельзя было предвидеть заранее и для которой не отлажено программное
обеспечение.
3.4.2 неиндицирование (non-indexing): Отсутствие присвоения ориентации в связи с недостаточ
ным качеством картины ДОЭ.
П р и м е ч а н и е — Неиндицирование может произойти по различным причинам, таким как шероховатость
образца, наличие пыли на образце, перекрытие дифракционных картин на границе зерна, низков качество диф
ракционной картины из-за эффектов напряжений или в случае, если дифракционная картина получена из фазы,
которую нельзя было предвидеть заранее.
3.4.3 обработка данных (data cleaning): Процедура, выбранная для того, чтобы разместить на
карте меиндицированные и неверно индицированные данные с использованием установленного набо ра
параметров, обычно основанного на характеристиках (ориентация, фаза) определенного количества
ближайших соседей [см. рисунки 1 Ь)— 1 f)]-
П р и м е ч а н и е — В различных пакетах коммерчесхого программного обеспечения используется широкий
круг терминов (не обязательно математически точных) для разных операций по обработке данных, включая пода
вление шума, экстраполяцию, преобразование подобия и эрозию данных.
4 Картирование посредством ДОЭ для измерения размера зерна
4.1 Аппаратные требования
Можно обратиться к стандарту ИСО 24173, в котором представлена информация о необходимом обо
рудовании для получения картин дифракции обратнорассеянных электронов, индицирования дифракци
онных картин (определения ориентации), формирования шага пучка вдоль поверхности образца или реже
формирования шагадержателя образца при неподвижном пучке для выполнения картирования.
4.2 Требования к программному обеспечению
4.2.1 Программное обеспечение должно позволять воспроизводить данные об ориентации (или о
других параметрах, таких как качество дифракционной картины, полученной из каждой дифракционной
картины) в виде карты.
4.2.2 Программное обеспечение должно корректировать неверно индицированные пиксели или
заполнять неиндицированные пиксели (см. 6.2 и 6.3).
4.2.3 Программное обеспечение должно использовать данные об ориентации, чтобы определить
расположение границ в соответствии с выбранными критериями.
4.2.4 Программное обеспечение должно определять зерна как области соприкасающихся пик
селей из набора граничных точек и измерять размерные параметры зерна. Специальная обработка
может быть применена к зернам, которые пересекают границы карты, например, удаление зерен или
применение к ним весовой функции.
5 Получение карты посредством ДОЭ для сортировки зерен по размерам
5.1 Подготовка образца
Чтобы достичь высокого уровня индицирования отдельных пикселей, необходимо провести по
лировку поверхности. Такая полировка позволит получить достаточное число дифракционных картин,
чтобы их можно было надежно проиндицировать. Пользователь должен определить и обнародовать
критерии, используемые для того, чтобы выполнение индицирования было надежным.
5