ГОСТ РИСО 13067—2016
ИСО 21748 Руководство по использованию повторяемости, воспроизводимости и оценки досто
верности при выполнении оценки неопределенности измерений (ISO 21748. Guidance for the use of
repeatability, reproducibility and trueness estimates in measurement uncertainty estimation)
ИСО 23833 Микрозондовый анализ. Электронно-эомдовый микроанализ (ЭЗМА). Словарь (ISO
23833. Microbeam analysis — Electron probe microanalysis (EPMA) — Vocabulary)
ИСО 24173:2009 Микрозондовый анализ. Руководство no измерению ориентации при помо
щи дифракции обратнорассеянных электронов (ISO 24173:2009. Microbeam analysis — Guidelines for
orientation measurement using electron backscatter diffraction)
3 Термины и определения
В настоящем стандарте применены термины по ИСО 24173 и ИСО 23833. а также следующие
термины с соответствующими определениями:
3.1 Терминология, связанная с измерением размера зерна с помощью ДОЭ
3.1.1 длина шага (step size): Расстояние между соседними точками, из которых получают индиви
дуальные картины ДОЭ в ходе сбора информации для построения ДОЭ-карт.
3.1.2 пиксель (элемент изображения) (pixel, picture element): Наименьшая область ДОЭ-карты с
размерами, совпадающими с длиной шага, которому приписывается результат единичного измерения
ориентации, сделанного с помощью установки электронного зонда в точку, находящуюся в центре этой
области.
3.1.3 ориентация (orientation): Математическое описание углового соотношения между осями
кристалла в точке проведения анализа и системой координат, задаваемой, как правило, осями образца.
3.1.4 индицированный (indexed): Пиксель считается индицированным, если ориентация, вычис
ленная из картины ДОЭ. полученной для этого пикселя, отвечает требованиям заранее определенного
порога надежности.
3.1.5 достоверность индицирования (indexing reliability): Численное значение, которое указыва
ет на достоверность/надежность, которую включает в автоматический анализ программное обеспече
ние. осуществляющее индицирование.
П р и м е ч а н и е — Этот параметр варьируется в зависимости от изготовителя оборудования, реализующе
го ДОЭ. Этот параметр может включать:
a) среднюю разницу, рассчитанную между экспериментально определенными углами между участвующими
в дифракции плоскостями и теми же углами, вычисленными для ориентации, определенной ДОЭ-программным
обеспечением;
b
) разницу между количеством триплетов (пересечений трех Кикучи-полос) в дифракционной картине при
ДОЭ. соответствующей выбранной ориентации, и следующим лучшим возможным решением, разделенную на
общее число триплетов.
3.1.6 ориентационная карта (ориентационная карта кристаллов) (orientation map. crystal
orientation map): Показ пикселей в виде карты, полученной из последовательных измерений ориентации
кристалла в каждой точке сетки [см. рисунки 1 Ь) — 1 f)], показывающей кристаллографическую связь
между пикселями и системой координат.
3.1.7 качество дифракционной картины (pattern quality): Мера резкости дифракционных полос
или диапазон контраста в дифракционной картине.
П р и м е ч а н и е — В различных коммерческих пакетах программного обеспечения используются различ
ные термины, включая такие, как контраст полос, наклон полос и качество изображения.
3.1.8 карта качества дифракционной картины (pattern quality map): Представление пикселей в виде
карты, полученное из последовательного набора картинДОЭ в каждой точке на сетке [см. рисунок 1а)], по
казывающее качество дифракционных картинот отдельных пикселей.
П ри м ечания
1 Так как степень качества дифракционных картин может изменяться на таких особенностях, как границы
зерен, а также она может изменяться при изменении ориентации зерен, карта качества дифракционной картины
может содержать указания на форму и размер зерна.
2 Карты качества дифракционных картин могут также указывать на области сильной деформации и неадек
ватной подготовки образца, например, на остаточные царапины.
3 Мелкие частицы и особенности также вносят вклад в карту качества дифракционной картины.
2