ГОСТР ИСО 13067—2016
Как альтернативу картированию в некоторых случаях программное обеспечение ДОЭ предлагает
метод линейных отрезков как способ получения карты. Этот метод может быть использован для бы
строго измерения приблизительного размера зерна.
5.6.2 Длина шага должна быть выбрана с учетом среднего размера зерна, за исключением слу
чаев, когда требуется информация о конкретном минимальном размере. В любом случае следует
признать, что оценка делается по минимальному числу пикселей, используемых для определения зер
на. причем такая оценка осуществляется либо с помощью линейного метода, либо метода площади.
См. также 6.3 и рисунки 1 d), е) и f) для информации о влиянии выбора длины шага.
Простое правило, которое можно применить к предварительному скану, заключается в том. что
длина шага должна быть менее 10 % от приближенного среднего размера зерна (2}. Чтобы подтвер
дить обоснованность выбранной длины шага, повторяют картирование одного участка при нескольких
значениях длины шага и определяют максимальную длину шага, ниже которой невозможно определить
никакие значительные различия в среднем размере зерна. Этот выбор имеет прямое влияние на точ ность
измерения размера зерна.
5.6.3 При выборе длины шага следует учитывать пространственное разрешение системы. Пред
почтительно. чтобы длина шага была больше, чем объем взаимодействия, который определяется как
исследуемым материалом, так и рабочими параметрами РЭМ. такими как тип нити накаливания, уско
ряющее напряжение и размер диафрагмы.
5.7 Определение необходимого уровня точности измерения углов
Скорость, с которой получают дифракционные картины при ДОЭ (включая любое усреднение кар
тин). влияет на прецизионность, с которой могут быть определены края полосы, и таким образом на
точность измерения углов вычисляемой ориентации. Другие факторы, такие как разрешение Хафа,
число полос, выбранных для согласования с вычисляемой ориентацией, также влияют как на время
вычисления, так и на точность измерения углов.
Если сбор информации и вычисление занимают слишком много времени, могут значительно уве
личиться проблемы дрейфа образца, и будет воспринято меньшее количество точек в заданное время,
что уменьшает статистическую значимость полученных данных. Чтобы минимизировать дрейф, реко
мендуется, чтобы образец находился на поверхности, которая имеет непосредственный контакт с за
земленным столиком, и чтобы образец был надежно закреплен на столике. При закреплении образца на
столике следует избегать угольных ярлычков. Тонкий слой угольного покрытия может быть необхо дим
для образцов-изоляторов.
Если использовать слишком короткое время набора данных, снизится уровень надежности ин-
дицирования. Настройки, выбранные как компромисс между двумя вышеперечисленными факторами,
должны быть запротоколированы.
Для экономии времени картины ДОЭ во время картирования можно сохранить без индицирования
и впоследствии лроиндицировать в автономном режиме, чтобы исследовать влияние некоторых выше
перечисленных параметров на точность индицирования.
а)Ь)
Рисунок 1, лист 1— Область суперсппава никеля, картированная с помощью ДОЭ при разных условиях
7