ГОСТ Р 8.635— 2007
9.3 Вычисление цены деления вертикальной шкалы микроскопа
Цену деления вертикальной шкалы микроскопа тг, нм/пиксель. вычисляют по формуле
где h — высота выступа, приведенная в паспорте (формуляре) на рельефную меру, нм;
Н — высота выступа рельефной меры, измеренная по видеопрофилю, пиксель.
9.4 Вычисление относительного отклонения Z-сканера микроскопа от ортогональности
Если значение ALне равноАй в пределах заданной точности измерений, то относительное откло
нениеZ-сканера микроскопа отортогональностипоотношению кнаправлениюсканирования Z„(безраз
мерная величина) вычисляют по формуле
a
l
~
7
х
—
т A
ОИт
a
r
)
где тх—
—
Н —
масштабныйкоэффициентвидеоизображения микроскопа, вычисленныйпо9.1.нм/пиксель;
проекции наклонныхстенок рельефной меры, измеренные по видеопрофилю в направлении
сканирования слева направо, пиксели;
высота выступа рельефной меры, измеренная по видеопрофилю, пиксель;
цена деления вертикальной шкалы микроскопа, вычисленная по 9.3, нм/пиксель.
10 Оценка неопределенности измерений параметров
10.1 Суммарную стандартную неопределенность ис (тх), нм/пиксель. измерения масштабного
коэффициента видеоизображения микроскопа тх вычисляют по формуле
где тх— масштабныйкоэффициентвидеоизображения микроскопа, вычисленныйпо9.1,нм/пиксель;
и[а) — стандартная неопределенность измерения проекции наклонной стенки выступа, приведен
ная в паспорте (формуляре) на рельефную меру, нм;
а — проекция наклонной стенки выступа, приведенная в паспорте (формуляре) на рельефную
меру, нм;
и(Ай )— стандартная неопределенность измерения проекции наклонной стенки выступа рельефной
меры Ай,пиксель;
Ай — проекция наклонной стенки выступа рельефной меры, измеренная по видеопрофилю, пик
сель.
П р и м е ч а н и е — Если а паспорте (формуляре) на рельефную меру приведена абсолютная погрешность
измерения проекции накпонной стенки выступа, то вычисление и(з) осуществляют по (6). При равномерном кванто
вании видеосигнала значение и(Дя ) принимают равным 0.5 пиксель.
10.2 Суммарную стандартнуюнеопределенностьис(тг ),нм.измеренияценыделениявертикаль
ной шкалы микроскопа т2вычисляют по формуле
т -
где тг — цена деления вертикальной шкалы микроскопа, вычисленная по 9.3, нм/пиксель;
стандартная неопределенность измерения высоты выступа, приведенная в паспорте (фор
муляре) на рельефную меру, нм:
h — высота выступа, приведенная в паспорте (формуляре) на рельефную меру, нм;
u (H )- стандартная неопределенность измерения высоты выступа рельефной меры по видеопро-
филю, пиксель;
Н — высота выступа рельефной меры, измеренная по видеопрофилю, пиксель.
П р и м е ч а н и е — Если 8 паспорте (формуляре) на рельефную меру приведена абсолютная погрешность
измерения высоты выступа, то вычисление и(й)осуществляют по (6]. При равномерном квантовании видеосигнала
значение и(Н) принимают равным 0.5 пиксель.
6