ГОСТ Р 8.635— 2007
10.3Суммарную стандартную неопределенность ис(г), нм. измерения эффективного радиуса
острия зонда микроскопа гвычисляют по формуле
ис(г)= 0.996^ц?(т* )В£ + и2(Вр )+ и2(Ьр\
где ис(тх)—
Ф р) -
суммарная стандартная неопределенность измерения масштабного коэффициента
видеоизображения, вычисленная по 10.1. нм/пиксель;
ширина нижнего основания, измеренная по видеопрофилю, пиксель;
стандартная неопределенность измерения ширины нижнего основания Врпо видеопро
филю. пиксель;
стандартная неопределенность измерения ширины нижнего основания выступа, приве
денная в паспорте (формуляре) на рельефную меру. нм.
П р и м е ч а н и е — Если в паспорте (формуляре) на рельефную меру приведена абсолютная погрешность
измерения ширины нижнего основания выступа, то вычисление и(Ьр) осуществляют по (6). При равномерном кван
товании видеосигнала значение
и(Вр)
принимают равным 0.5 пиксель.
10.4Суммарную стандартную неопределенность u(Zx) относительного отклонения Z-сканера
микроскопа от ортогональности вычисляют по формуле
*Z X)
J
[A
l
- Л„)гци?[л)л) ,) ’ ‘Л - У »
л
н2
т
1
где At.А
й
—
ис(т »)
—
т* ~
u
(Al),
u
(Ar)—
Н —
и (Н )-
" Л 1 -
проекции наклонныхстенок выступа рельефной меры, измеренные по видеопрофилю в
направлении слева направо, пиксели;
суммарная стандартная неопределенность измерения масштабного коэффициента
видеоизображения микроскопа, вычисленная по 10.1, нм/пиксель;
масштабный коэффициентвидеоизображения микроскопа, вычисленный по 9.1.нм/пик
сель:
стандартные неопределенности измерений проекций наклонных стенок выступа рель
ефной меры по видеопрофилю, пиксели;
высота выступа рельефной меры, измеренная по видеопрофилю, пиксель;
цена деления вертикальной шкалы микроскопа, вычисленная по 9.3. нм/пиксель;
относительное отклонение Z-сканера микроскопа от ортогональности по отношению к
направлению сканирования, вычисленное по 9.4, (безразмерная величина):
стандартная неопределенность измерения высоты выступа рельефной меры по видео
профилю. пиксель;
суммарная стандартная неопределенность измерения цены деления вертикальной
шкалы микроскопа, вычисленная по 10.2, нм/пиксель.
П р и м е ч а н и е — При равномерном квантовании видеосигнала значения и(ЛД, и(Ля).
и{Н)
принимают
равными 0.5 пиксель.
11 Оформление результатов калибровки
11.1Результаты калибровкиоформляютв видесертификатао калибровкеустановленнойформы
[7] с соответствующей записью в паспорте (формуляре) на микроскоп и удостоверяют калибровочным
знаком, наносимым на микроскоп.
11.2В сертификатеокалибровке ив паспорте(формуляре)на микроскоп должныбытьприведены
значения масштабного коэффициента видеоизображения микроскопа тх.цены деления вертикальной
шкалы микроскопа тги относительногоотклонения Z-сканера микроскопа отортогональности по отно
шению кнаправлению сканирования Zx, а также значение эффективного радиуса острия зонда г.Для
перечисленных метрологических характеристик микроскопа необходимо также указать значения
неопределенностей, вычисленных по разделу 10.
7