ГОСТ Р 8.635— 2007
4 Технические требования
4.1 Требования к неопределенностям измерений параметров, определяемых в процессе
калибровки
4.1.1 Суммарная стандартная неопределенностьизмерения масштабного коэффициента видео
изображения микроскопа тхдолжна быть не болев 0,01 нм/пиксель.
4.1.2 Суммарная стандартная неопределенность измерения цены деления вертикальной шкалы
микроскопа тгдолжна быть не более 0.01 нм/пиксель.
4.1.3 Суммарная стандартная неопределенностьизмеренияэффективногорадиусаостриязонда
микроскопа /-должна быть не более 1 нм.
4.1.4 Суммарная стандартная неопределенностьизмерения относительногоотклоненияZ-скане-
ра микроскопа от ортогональности Zxдолжна быть не более 0.05.
4.2 Требования к средствам калибровки и вспомогательному оборудованию
4.2.1 Калибровку микроскопа проводят с помощью рельефной меры нанометрового диапазона
(далее — рельефная мера), изготовленной по ГОСТ Р 8.628 и поверенной по ГОСТ Р 8.629.
4.2.2 В качестве вспомогательного оборудования применяют оптический микроскоп с увеличени
ем не менее 400*.
4.2.3 Допускается применятьдругиесредства калибровки, точностькоторыхсоответствуеттребо
ваниям настоящего стандарта.
4.3 Требования к условиям проведения калибровки
4.3.1 Калибровку микроскопа проводят в следующих условиях:
- температура окружающей среды................................................(20 ± 3) °С;
- относительная влажность воздуха..............................................не более 80 %;
- атмосферное давление............................................................(100 i 4) кПа;
- напряжение питающей сети....................................................... 2 2 0 В:
- частота питающей сети.............................................................. 50410 Гц.
4.3.2 Помещение (зона), где размещен микроскоп исредства его калибровки, должно быть в экс
плуатируемом состоянии иобеспечиватьклассчистоты неболее класса 8 ИСО по взвешенным ввозду хе
частицам размерами 0.5 и 5 мкм и концентрациями, определенными по ГОСТ ИСО 14644-1.
Периодичность контролясостояния помещения(зоны)определяютпоГОСТ Р И С 014644-2. Эксплуата
цию помещения (зоны) осуществляют по ГОСТ Р ИСО 14644-5.
5 Требования к квалификации калибровщиков
Калибровку микроскопов должны проводить штатные сотрудники метрологических служб пред
приятий. аккредитованных в установленном порядке на проведение калибровочных работ по [1]. Сот
рудники должны быть профессионально подготовлены, иметь опыт работы со сканирующими
зондовыми атомно-силовыми микроскопами изнать требования настоящегостандарта. Рабочие места
калибровщиковдолжны бытьаттестованы поусловиям труда в соответствиис требованиямитрудового
законодательства.
6 Требования по обеспечению безопасности
При проведении калибровки микроскопов необходимо соблюдать правила электробезопасности
по [2]. [3] и требования по обеспечению безопасности на рабочих местах по ГОСТ 12.2.061. [4). [5].
7 Подготовка к процедуре калибровки
7.1Подготовку ккалибровке микроскопа проводят следующим образом:
- выбирают необходимуюдля калибровки микроскопа рельефную меру по 4.2.1, сечение выступа
которой приведено на рисунке 1.В качестве исследуемогоэлемента используют выступ,для которого в
паспорте (формуляре) на меру приведены значения проекции боковой грани выступа на плоскость
з