ГОСТ Р 8.635— 2007
а_
Ж
Рисунок 1 — Сечение исследуемого элемента рельефной меры
нижнего основания а, ширины нижнего основания выступа Ьр,высоты выступа h. В зависимости отожи
даемогозначенияэффективногорадиусазондамикроскопа /-используют рельефнуюмеру, для которой
- проводят осмотр футляра, в котором осуществлялось хранение и транспортирование рельеф
ной меры, на отсутствие механических повреждений;
- проводят проверку соответствия комплекта поставки рельефной меры данным, приведенным в
паспорте (формуляре) на рельефную меру;
- выдерживаютвыбранныйэкземпляррельефной меры в помещении, где будет проведена калиб
ровка микроскопа, не менее 24 ч;
- извлекают рельефную меру из футляра иосматриваютеедля выявления внешних повреждений
(царапин, сколов идругих дефектов) изагрязнений. При необходимости поверхность меры очищают от
частиц пыли струей очищенного и осушенного воздуха.
7.2 Выполняют операции, необходимые для подготовки микроскопа кработе. При этом проводят
внешний осмотр микроскопа, в процессе которого должно быть установлено;
- соответствие комплекта поставки микроскопа данным, приведенным в паспорте (формуляре);
- отсутствие механических повреждений всех составных частей микроскопа;
- отсутствие механических повреждений соединительных кабелей и сетевых разъемов;
- наличие маркировки на микроскопе иее соответствиеданным, приведенным в паспорте (форму
ляре).
7.3 Устанавливают рельефную меру на рабочий стол микроскопа.
7.4 Зонд микроскопа устанавливают над поверхностью рельефной меры так. чтобы выступ, ука
занный в паспорте (формуляре) на эту меру в качестве исследуемого элемента, находился в пределах
областисканирования. При выполненииоперациицелесообразноиспользоватьвспомогательныйопти
ческий микроскоп.
7.5 В соответствии с инструкцией по эксплуатации микроскопа проводятоперации, необходимые
для приведения его в рабочее состояние (на мониторе микроскопа должен появиться информативный
сигнал).
7.6 Настраивают устройство регистрации видеоизображения таким образом, чтобы число пиксе
лей в направлениисканированиябылодостаточнымдлятого, чтобы можнобылопренебречьзначением
неопределенности, обусловленным квантованием видеосигнала. Это достигается выбором соотве
тствующих размеров изображения в пикселях и увеличения микроскопа. Выбор увеличения осуще
ствляют таким образом, чтобы видеопрофиль элемента, изображенного на рисунке 1. имел вид.
приведенный на рисунке 2. При этом;
- ширина нижнего основания видеопрофиля Врдолжна быть не менее 0.4 общейдлины видеопро
филя;
- проекция наклонной стенки видеопрофиля AR и высота выступа по видеопрофилю Н должны
быть не менее 200 пикселей.
2г
4