ГОСТ Р 8.635— 2007
Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы ЙС Т А Н Д А Р ТР О С С И Й С К О ЙФ Е Д Е Р А Ц И И
Государственная система обеспечения единства измерений
МИКРОСКОПЫ СКАНИРУЮЩИЕ ЗОНДОВЫЕ
АТОМНО-СИЛОВЫЕ
Методика калибровки
State system for ensuring the uniformity of measurements.
Atomic-force scanning probe microscopes.
Methods for calibration
Дата введения — 2008— 08— 01
1 Область применения
Настоящий стандарт распространяется на сканирующие зомдовые атомно-силовые микроскопы
(далее — микроскопы), применяемые для измеренийлинейныхразмеров вдиапазонеот 10~9до 10~6м, и
устанавливает методику их калибровки с использованием рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ
Р 8.629.
2 Нормативные ссылки
В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
ГОСТ Р 8.628— 2007 Государственная система обеспеченияединства измерений. Меры рельеф
ные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования кгеометрическим фор
мам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
ГОСТ Р 8.629— 2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельеф
ные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки
ГОСТ Р ИСО 14644-2— 2001 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды.
Часть 2. Требования кконтролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия ГОСТ Р
ИСО 14644-1*
ГОСТ Р ИСО 14644-5— 2005 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды.
Часть 5. Эксплуатация
ГОСТ 12.2.061— 81 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное.
Общие требования безопасности крабочим местам
ГОСТ И С 014644-1— 2002Чистые помещения исвязанныесними контролируемыесреды.Часть 1.
Классификация чистоты воздуха
П р и м е ч а н и е — При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылоч
ных стандартов в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агент
ства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодно издаваемому информационно
му указателю «Национальные стандарты», который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по
соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям, опубликованным в текущем году. Если
ссылочный документ заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководствоваться за
меняющим (измененным)документом. Если ссылочный документ отменен без замены, то положение, в котором да
на ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.
* ГОСТ Р ИСО 14644-1— 2000 отменен; с 01.04.2004 г. действует ГОСТ ИСО 14644-1— 2002.
Издание официальное
1