ГОСТ Р 8.635— 2007
3Термины и определения
В настоящем стандарте применены следующие термины с соответствующими определениями.
3.1 рельеф поверхности твердого тела (рельеф поверхности): Поверхность твердого тела,
отклонения которой отидеальной плоскости обусловлены естественными причинами или специальной
обработкой.
3.2 элемент рельефа поверхности (элемент рельефа): Пространственно локализованная
часть рольефа поверхности.
3.3 пиксель: Наименьший дискретный элемент изображения, получаемый в результате матема
тической обработки информативного сигнала.
3.4 сканирование элемента исследуемого объекта (сканирование): Построчное перемеще
ние зонда над выбранным элементом рельефа поверхности исследуемого объекта с одновременной
регистрацией информативного сигнала.
3.5 изображение на экране монитора микроскопа (видеоизображение). Изображение на экра
не монитора микроскопа в виде матрицы из п строк пот пикселей в каждой, яркость которых прямо про
порциональна значению сигнала соответствующей точки матрицы.
П р и м е ч а н и е — Яркость пикселя определяется силой света, излучаемой а направлении глаза наблюда
теля.
3.6 видеопрофиль информативного сигнала (видеопрофиль): Графическая зависимость
значения информативногосигнала, поступающегосдетектора микроскопа, от номера пикселя в данной
строке видеоизображения.
3.7 масштабный коэффициент видеоизображения микроскопа (масштабный коэффици
ент):Отношение значениядлины исследуемогоэлементарельефанаобъектеизмерений кчислупиксе
лей этого элемента на видеоизображении.
П р и м е ч а н и е — Масштабный коэффициент определяют для каждого микроскопа.
3.8 эффективный радиус острия зонда микроскопа (эффективный радиус зонда): Радиус
сферы, характеризующей геометрические размеры острия зонда микроскопа.
П р и м е ч а н и е — Эффективный радиус зонда микроскопа определяют по значению радиуса сферы, впи
санной а острие зонда при одновременном касании острия боковой грани выступа и дна канавки рельефной меры по
ГОСТ Р 8.629.
3.9 Z-сканер сканирующего зондового атомно-силового микроскопа (Z-сканор): Устройство
сканирующегозондовогоатомно-силовогомикроскопа, позволяющеев процессесканированияпереме
щать зонднадповерхностьюисследуемого объекта (или исследуемый объект подзондом)в вертикаль
ном направлении.
3.10 рельефная мера: Средство измерений длины, представляющее собой твердый объект,
линейные размеры элементов рельефа которого установлены с необходимой точностью.
П р и м е ч а н и е — Рельефная мера может быть изготовлена с помощью средств микро- и нанотехнологии
или представлять собой специально обработанный объект естественного происхождения.
3.11 рельефная мера нанометрового диапазона: Мера, содержащая элементы рельефа,
линейный размер хотя бы одного из которых менее 10~6м.
3.12 элемент рельефа в форме выступа (выступ): Элемент рельефа, расположенной выше
прилегающих кнему областей.
3.13 геометрическая форма элемента рельефа: Геометрическая фигура, наиболее адекватно
аппроксимирующая форму минимального по площади сечения элемента рельефа.
П р и м е р — Трапецеидальный выступ, представляющий собой элемент рельефа поверхности, гео
метрическая форма минимального по площади сечения которого наиболее адекватно аппроксимируется
трапецией.
2