ГОСТ Р 8.635— 2007
Рисунок 2 — Вмдеолрофмль (направление сканирования слева направо)
8 Процедура проведения измерений
8.1 В соответствиис инструкцией поэксплуатации микроскопа выполняютсканирование исследу
емого элемента рельефной меры и записывают видеоизображение.
Видеопрофиль, приведенный на рисунке 2, соответствует элементу рельефа, изображенному на
рисунке 1.
Значения параметров, указанных на рисунке 2, определяют экспериментально путем обработки
полученного видеопрофиля.
8.2 При сканировании исследуемогоэлементарельефной меры необходимо,чтобы наклонзонда
микроскопа (если имеется) был расположен в плоскости, перпендикулярной кнаправлению перемеще
ния зонда.
Наклон зонда должен быть не более 20°. При соблюдениидополнительного условия ортогональ
ности вертикального перемещения зонда регистрируемая кривая будет симметричной и значение AL
будет равно AR.
П р и м е ч а н и е — Если значения
AL
и
Ак
не равны, то это указывает на неортогональность вертикально
го перемещения зонда и необходимость определения значения отклонения 2-сканера калибруемого микроскопа
по 9.4.
8.3 Результаты измеренийпараметроврельефной меры, приведенныхнарисунке2.оформляютв
виде протокола калибровки. Форма протокола — произвольная. Протокол с результатами калибровки
должен храниться как минимум до следующей калибровки микроскопа.
9 Обработка результатов измерений
9.1 Вычисление масштабного коэффициента видеоизображения микроскопа
Масштабный коэффициент видеоизображения микроскопа тх, нм/пиксель, вдоль направления
сканирования вычисляют по формуле
где а — значение проекции наклонной стенки выступа, приведенное в паспорте (формуляре) на рель
ефную меру, нм;
AR — значение проекции наклонной стенки рельефной меры, измеренное по видеопрофилю, пик
сель.
П р и м е ч а н и е — При вычислении масштабного коэффициента видеоизображения используют значение
проекции наклонной стенки
Ак,
соответствующее движению сканера от вершины выступа к дну канавки. Это значе ние
при выполнении условия по 8.2 не зависит от угла наклона зонда микроскопа.
9.2 Вычисление эффективного радиуса острия зонда микроскопа
Эффективный радиус острия зонда микроскопа г. нм. вычисляют по формуле
/•=0.966 (тхВр— бр),
где тх— масштабныйкоэффициентвидеоизображениямикроскопа, вычисленный по 9.1, нм/пиксель;
Вр— ширина нижнего основания, измеренная по видеопрофилю, пиксель.
Ьр— ширина нижнего основания выступа, приведенная в паспорте (формуляре) на рельефную
меру. нм.
5