ГОСТ Р ИСО 16063-15—2012
лельно самому себе при отражении уголковым отражателем, размещенном на измерительном столе,
сохраняя при этом линейную поляризацию. Линейно поляризованный отраженный измерительный луч и
опорный луч с круговой поляризацией накладываютсядруг надруга. После прохождения призмы Вол
ластона. имеющей наклон 45° по отношению к направлению поляризации отраженного измерительного
луча, образуются два линейно поляризованных луча, направления поляризации которых перпендику
лярны друг другу. Эти лучи преобразуются фотодетекторами в электрические сигналы, характеризую
щие перемещения измерительного рефлектора по закону синуса и косинуса.
4.6.3 Интерферометр типа В (интерферометр с дифракционной решеткой)
Для приема интерференционного сигнала используют интерферометр с дифракционной решет
кой (например, интерферометр Майкельсона) и фотодетектором, позволяющим проводитьизмерения в
заданной полосе частот (см. 4.6.1).
Для методов 1В и 2В используют модифицированный интерферометр Майкельсона с дифракци
онной решеткой (рисунки 2. 4 и 6).
Угловое ускорение, угловая скорость и угловое перемещение измеряют специальными интерферо
метрами. в которых использованы дифракционные решетки высокого разрешения (например, фазовые
решетки в виде оптического диска с нанесенными на боковую поверхность бороздами синусоидального
профиля с плотностью борозд 2400 мм-’ или 3000 мм-1) (см. (12] и [13]).
Ось диска отражающей решетки, расположенного на измерительном столе с воздушной подвес
кой возбудителя угловой вибрации, совпадает с осью вращения (рисунок2). Луч света, излучаемый од
ночастотным стабилизированным гелий-неоновым лазером, расщепляется на два параллельных луча,
падающих на решетку, симметричную относительно оси вращения, под углом, при котором отраженные
лучи, соответствующие первому дифракционному максимуму (в соответствии с формулой дифракции
для наклонного падения), возвращаются в направлении падающего луча. Суперпозиция лучей первого
дифракционного максимума осуществляется в оптическом устройстве. Если подвижный элемент
виб рационного стенда совершает угловые колебания, то эти лучи претерпевают изменения по
частоте — противоположные по знаку и одинаковые по величине, пропорциональные тангенциальной
скорости и, следовательно, угловой скорости подвижного элемента. Переменная составляющая
интенсивности светового излучения будет периодической функцией углового перемещения.
Вметоде ЗВиспользуется квадратурный интерферометр сдифракционной решеткой (рисунок8).
В квадратурном интерферометре с дифракционной решеткой в однолучевой схеме луч расщепля
ется на опорный и измерительный лучи. Измерительный луч падает на решетку под углом, при котором
отраженный луч, соответствующий первомудифракционному максимуму, возвращается в направлении
Г — дифракционная решетка; 2 — калибруемый датчик; 3 -- интерферометр;
4 — еибростеиддля возбуждения угловой вибрации’1
“ См. также рисунок 1.
Рисунок 2 — Установка для возбуждения угловой вибрации, состоящая из вибростенда
и интерферометра с дифракционной решеткой (гомодинный интерферометр)
6