ГОСТ Р ИСО 16063-15—2012
/ — лазер. 2 — телескоп. 3 — поляризатор; 4 — светоделитель; 5 — уголковый отражатель; в —призма Волластона.
7 —фотодетектор
Рисунок 9 — Модифицированный интерферометр Майкельсона с уголковым отражателем (отражателями)
и квадратурным выходом
77
Г
V
с *
з- 1
Ь,с
Ы
х г
- с к
6
~ г \ 14
1
16
\
\13
I — интерферометр. 2 — лазер. 3 —камера Брака: 4 — кварцевый генератор; 5 — фотодетекгор; б — синтезирующий генера
тор. 7 - калибруемый акселерометр; 8 — вибростенд с воздушной подвеской: 9 — низкочастотный фильтр: 10 —измеритель
ный сигнал, 11 -—опорный сигнал; /3 — регистратор формы сигнала (переходных процессов); 13 —квадратурные сигналы:
14 — цифровая фильтрация: Г5 — алгоритмы обработки: 16 — результаты измерения (параметры вибрации и удара);
а — фазовращатель (на 90"); Ь. С— сигналы у(Г,), 2(1). d — преобразование arctan y(/.)te<J,)
Рисунок 10— Пример измерительной системы с использованием гетеродинного интерферометра для метода ЗВ
(гетеродинный интерферометр Маха—Цендера с дифракционной решеткой)
20