ГОСТ Р ИСО 16063-15—2012
1— генераторчастоты (см. 4.2); 2 — усилительмощности (см.4.3). 3 — еибростенд(см 4 3); 4 - калибруемыйдатчик: 5— диф
ракционная решетка; б — интерферометр (см. 4.6); 7 —лазер (см. 4.5); 8 — светоделитель; 9 — фотодетехтор. 10 — усилитель;
11 —анализатор слехтра (см. 4.7.ЭХ 12 — полосовой фильтр, настроенный на частоту вибрации (см 4 7.3). 13— вольтметр.
14 — вольтметр (см. 4.8); ) 5 — измеритель коэффициента гармоник(см. 4.9Х 16 — осциллограф (см. 4.10)
Рисунок 6 — Пример измерительной системы для метода 2В (гомодинный интерферометр
с дифракционной решеткой)
Для однолучевой схемы (рисунок 7) амплитудаs, преобразуемая в амплитудууглового перемеще
ния по формуле (2). равна значению s„, взятому из таблицы 2. т. е.
s = sn.(15)
Для двухлучевой схемы (рисунок3) амплитуда£. преобразуемая в амплитудууглового перемеще
ния по формуле (2), равна половине значения^, взятого из таблицы 2. т. е.
s =£
il
.<16>
2
15