ГОСТ Р ИСО 16063-15—2012
Препятствием для измерения больших амплитуд углового перемещения, прежде всего, является недоста
точная юстировка интерферометра из-за параллельного сдвига падающего и отраженного измерительных лучей
лазера, когда уголковый отражатель вращается вокруг оси измерительного стола возбудителя.
Для интерферометра типа А радиус R не является точно определимой величиной. Поскольку для предотвра
щения влияния наклона отражателя на результаты измерений используется уголковый отражатель, падающий и
отраженный лучи смещены друг относительно друга. Другой источник неопределенности — определение R. R
— расстояние междудвумя уголковыми отражателями в двухлучевой схеме или расстояние между уголковым от
ражателем и осью вращения в однолучевой схеме.
Для интерферометра типа В (с дифракционной решеткой) перемещение, соответствующее расстоянию меж
ду двумя полосами (по максимуму или минимуму интенсивности) для двухлучевой схемы, показанной на рисунках 4
и 6, определяется по формуле
да * д!2,(8.24)
а для однолучевой схемы, изображенной на рисунке в. — по формуле
As
"
Q.(В.25)
где д — период решетки (определенный при ее изготовлении). Например, период решетки в виде оптического дис
ка с бороздами на боковой поверхности, нанесенными с плотностью 2400 мм-’ будет д • 1/(2400) мм =
= 0,4166 мкм (113]). Формулы (В.19) и (В.20) справедливы для интерференции лучей первого
дифракцион ного максимума, описываемого формулой
If—в sin а, ♦ 8infiL,(В.26)
9
где к — порядок дифракции {к = ±1);
а
— длина волны излучения лазера.
а , — угол падения лазерного луча;
— угол дифрагированного лазерного луча.
Поскольку интерферометре дифракционной решеткой воспринимает перемещение любой точки боковой по
верхности круглого диска, образующего измерительный стол (т. е. угловое перемещение), амплитуда углового пе
ремещения ограничена диапазоном углов, охватываемых решеткой, если дифракционная решетка расположена
только на части боковой поверхности, или каким-либо другим техническим ограничением для интерферометра
типа В (например, максимальным углом поворота стола вибростенда).
Другое преимущество по сравнению с интерферометром типа А заключается в том. что радиус диска, на бо
ковой поверхности которого расположенв дифракционная решетка, является точно определенной и измеримой ве
личиной. Однако, интерферометр типа В налагает более строгие ограничения на поперечное движение
(максимальный эксцентриситет 2 мкм), чем интерферометр типа А.
В.2 Методы 1А и 1В
Для интерферометров типа А и типа В и. следовательно, для методов 1А и 1В число периодов сигнала (на
пример. по максимальной интенсивности) определяется формулой
N = 4S/AS.(В.27)
из которой s может быть рассчитано по формуле
*а^г*т18,28)
где / — частота угловой вибрации вибростенда;
а
(средняя) частота следования полос;
As ■ /2.
Амплитуду углового перемещения Ф рассчитывают путем использования выражения для As. т. е. фор
мул (В.14) и (В.15) для интерферометра типа А. формул (В.19) и (В.20) для интерферометра типа В. и форму
лы (8.17) для преобразования перемещения в угол поворота. Амплитуду угловой скорости II и амплитуду
углового ускорения» вычисляют по формулам (В.10) и (В. 12)соответственно. Для вычисления коэффициента
преобразова ния датчика угловой вибрации используют формулы (В.4), (В.6) и (В 8).
В.З Методы 2А и 2В
Регулируя амплитуду угловой вибрации до уровней, при которых амплитуда составляющей интенсивности с
частотой, равной частоте вибрации, становится равной нулю, вычисляют амплитуду перемещения, воспринимае
мого интерферометром, по формуле
31