ГОСТ Р ИСО 16063-15—2012
I -- генераторчастоты (см. 4.2); 2 —усилительмощности (см. 4.3); 3 — вибростемд (см.4.3). 4 — калибруемый датчик; 5 — диф
ракционнаярешетка, в — интерферометр(см.4.6). 7 — лазер (см.4.5). 8 — фотодетектор;9 — усилитель, 10 — цифровой регис
тратор формы сигнала (см 4.7.4); 11 — вольтметр (см. 4.8); 12 — измеритель коэффициента гармоник (см. 4.9);
13 —осциллограф (см. 4.10);
* —фазовый сдвиг 0’; * - фазовый сдвиг 90*
Рисунок 8 — Пример измерительной системы для метода ЗВ (гомодинный интерферометр
с дифракционной решеткой)
19