ГОСТ Р ИСО 15367-2—2012
4 Обозначения и единицы измерений
Т а б л и ц а 1 — Обозначения и единицы измерений
Обозначение
Параметр
Единица
измерений
Источим*, о котором
приведено
определение
£<х, у). Щх. у)
Распределение плотности мощности (энергии)
Вт/см2. Дж)см2
ИСО 13694
X. у.
2
Механические оси (декартовы координаты)
мм
ИСО 15367-1:2003
(пункт 3.1.5)
2
Ось лучка
мм
ИСО 15367-1:2003
(пункт 3.1.5)
X.
Длина волны
нм
—
zm
Местоположение (координата) плоскости измерений
мм
ИСО 15367-1:2003
(пункт 3.1.4)
И *, у)
Усредненная форма волнового фронта
нм
ИСО 15367-1:2003
(пункт 3.1.1)
Ф(х. у)
Распределение фазы
рад
ИСО 15367-1:2003
(примечание 1
к пункту 3.1.1)
»„(*. У)
Скорректированный волновой фронт
нм
ИСО 15367-1:2003
(пункт 3.4.2)
s(x. у)
Аппроксимирующая сферическая поверхность
—
ИСО 15367-1:2003
(пункт 3.4.3)
Расфокусировка или радиус наилучшей сферы
мм
ИСО 15367-1:2003
(пункт 3.4.5)
‘V4 f(x. у)
Функция аберраций волнового фронта
нм
ИСО 15367-1:2003
(пункт 3.4.6)
lVPV
Нерегулярность волнового фронта
нм
Взвешенная средняя квадратическая деформация
нм
ИСО 15367-1:2003
(пункт 3.4.7)
Расстояния между элементами матрицы
мм
3.1
LH
Расстояние между экраном с субапертурами и матрич
ным приемником излучения
мм
3.2
f
Фокусное расстояние микролинз
мм
3.3
do
Размер пятна
мкм
Ширина субапертуры
мкм
3.4
(‘max
Угловой динамический диапазон
мрад
3.5
(xc- Ус)).;
Координаты центроида в субапертуре /./, т. е. моменты
первого порядка распределения плотности мощности в
субапертуре I.J
ММ
ИСО 11146-1
< * г * А /
Референтные (опорные) координаты пучка в субалер-
туре ).у
мм
< M A ,
Локальные компоненты градиента волнового фронта
—
ИСО 15367-1:2003
(пункты 3.5.1. 3.5.3)
wr. on*
Воспроизводимость результатов измерений волново
го фронта
нм
3.6
wa rms
Погрешность измерений волнового фронта
нм
3.7
8 Геометрическая матрица алгоритма реконструкции
—
волнового фронта
CКовариантная матрица-
3