ГОСТ Р ИСО 15367-2—2012
Решение уравнения (17) может быть затруднено, если возникает подвыборка, т. е. число спосо
бов. соответствующих полученным данным, превышаетчисло измеряемыхточек. Тогда более высокий
подкласс способов может исказить решение и вызвать совмещение волнового фронта. В этих случаях
должно быть выбрано большее число точек данных или номеров, и форма полинома должна
быть исследована очень тщательно.
9 Представление волнового фронта
Из восстановленного волнового фронта w(x, у)должны быть вычтены средние значения наклона
и вершины, что приводит к скорректированному волновому фронту wc(x, у) [см. ИСО 15367-1:2003
(пункт 3.4.2)1. Скорректированный волновой фронт или связанное с ним распределение фазы Фс(х. у)
должны быть представлены в протоколе измерений или в виде таблицы данных, векторной
диаграм мы. трехмерного распределения, участков контура, или в виде интерферограммы (см.
рисунок 4).
- | • ■ * ■ в f т » ш 4
1
ш ■ ■ * • ’ • • я я т
т* т ж а Ш 4
а) измеренные градиенты волнового фронта
Размеры в миллиметрах
« • ■ ■
Рисунок 4 — Примеры, иллюстрирующие векторную диаграмму измеренных градиентов волнового фронта и
30-представление реконструированного и скорректированного волнового фронта we(x. у) излучения диодного
лазера (Я. = 650 нм), полученных с помощью датчика Шоха-Гартмана
В случаях, когда фокусировка измеряемого лазерного пучка важна, аппроксимирующая сфери
ческая поверхность s(x, у) [см. ИСО 15367-1 (пункт 3.4.3)] должна быть дополнительно вычтена из
vv(x, у) в целях визуализации функции искажений волнового фронта wAF(x, у) (см. рисунок 5).
Размеры в миллиметрах
Вдоль вертикальной оси расположены нерегулярности wpv волнового фронта типа пик — впадина
Рисунок 5 — Пример, иллюстрирующий ЗО-представлениефункции */|р<х, у) искажений волнового фронта излуче
ния фемтосекундного эксимерного лазера (X = 248 нм), полученной с помощью датчика Гартмана
10