ГОСТ Р 8.700—2010
11 Обработка результатов измерений
11.1 Вычисляют значения длин проекций на ось X - x(J >. мкм, и на ось Y -у^’К мкм, радиус-векто
ра поверхностир,(xj!>,Уд))(1= 1,2. 3)по формулам
рS11
х(о =£Ь.дЛЯр =о, 1,..., 511,
(
1
)
у^1= ^д л я Q=0,1....511.
(
2
)
где L, — линейный размер /-го кадра сканирования, установленный по 10.2.1.10.2.4 и 10.2.7. соответ
ственно. мкм.
11.2 Вычисляют значения длин проекций на ось X - f (’K мкм-1. и на ось Y - f ^ \ мкм *. вектора
*т
пространственной частоты f <*>(f) ,f {l 1) (/ = 1. 2. 3) по формулам
ХП7 Уп
*т
,
Уп
f v>= — для т = -255, -254
.....
-1. 1,2
......
256;
(
3
)
t «>= “
L
21дпят = 0;
(4)
f
У
V
л
) * i
L
L
,
для п * -255. -254..... 256,
(5)
где L, — линейный размер /-го кадра сканирования, установленный по 10.2.1.10.2.4 и 10.2.7 соответ
ственно. мкм.
11.3 Вычисляют значения /-го Фурье преобразования F,(f[!), f^ 1), мкм3. функции неровностей
*тУп
поверхности образца z,(х ^, у%])для / = 1.2. 3 по формуле
’ *т Уп’ 1,511/
“
511 511_Я хЦ гП хП .гП уП )
IIМ х"\у">)в" " "
р - 0 9 -0
(
6
)
где L,— линейный размер /-го кадра сканирования,
установленный по 10.2.1. 10.2.4 и 10.2.7.
соответственно, мкм;
z,(X p\У ^ )— значение /-й дискретной функции высот поверхности в точке (х£>, у ^ ), измеренное
по 10.2.3, 10.2.6 или 10.2.9 для /= 1. 2. 3. соответственно, нм;
xfl>— р-е значениедлины проекции на осьX радиус-вектора поверхностир М(х£\у% ]),вычис
ленное по 11.1, мкм:
y l>— q-e значениедлины проекции наось Y радиус-вектора поверхностирМ(х*-1,у^ )). вычис
ленное по 11.1, мкм;
/ = 7 Й — мнимая единица;
f’J1— т-е значение длины проекции на ось X вектора пространственной частоты f
*т
*
}.f " )).
т Уп
вычисленное по 11.2. мкм*1;
— л-е значение длины проекции на ось Y вектора пространственной частоты f V)(f^ .*).
вычисленное по 11.2, м км 1.
11.4 Осуществляют переход от декартовых координат f ° >. мкм 1. }. мкм 1. вектора простран-
*
1
7
1
Уп
ственной частоты f W(fil)
*т
Уп
(/= 1. 2. 3) к полярным координатам вектора пространственной частоты
f ^т /г • °тл ): м°ДУл,о вектора пространственной частоты f ^ , мкм-1, и полярному углу вектора про
странственной частоты’ . рад. по формулам
5