ГОСТ Р 8.700—2010
тл
)
Уп ’
/<0
<
K
*п\
f(» =
*т ’
2
-</>’>)2.
(?)
C=arct9
(
j ^
I
А Л Я ^> 0 .
<
8
>
Л*Я1/
//’
»
.
= arctg;
J
+ ядля f (l>< 0.
(9)
где f <0— т-в значение длины проекции на ось X вектора пространственной частоты f
’ т
,
хт
, f U)),
Уп
вычисленное по 11.2. мкм ,
_,
f
*тУп
— п-в значение длины проекции на ось Y вектора пространственной частоты
Уп
вычисленное по 11.2. м км 1.
11.5 Проводят преобразование и переобозначение полярных координати 0 ^ вектора про
странственной частоты f*):
хт Уп
*к*
значенияfjft для каждого к (к - 1.2
.....
256). для которых выполняется условие Л2й л2♦ т2< (/с +
+ 1)2, считают равными/О и обозначают/^),
где!$1 — модуль вектора пространственной частоты, вычисленный по 11.4, мкм-1;
— к-е значение длины проекции на ось X вектора пространственной частоты /7;°),
вычисленное по 11.2. мкм-1;
значения углов 0^1п векторов пространственной частоты, для которых выполняется условие
к2 й п2 + т2 < (к + 1)2, обозначают О1;1’ и нумеруют в порядке возрастания их значений от 1 до Sk
<®* = 1 2
.....
Sk),
где 0^*,— полярныйуголвекторапространственнойчастоты см одулем ^.вычисленныйпо 11.4,рад.
11.6 Вычисляют значения /-й функции спектральной плотности мощности поверхности образца
Р,(7/>)(/= 1.2,3), мкм4. по формуле
|2
р , о = р - 1 им
(
10
)
ч
s * - l ’
где L,— линейный размер /-го кадра сканирования, установленный по 10.2.1, 10.2.4 и 10.2.7,
соответственно, мкм;
F,значение/-гоФурьепреобразованияв полярныхкоординатах, переходккоторымосуще
ствлен по 11.4— 11.5. функции неровностей поверхности образцау, ’). вычис
ленное по 11.3, мкм6;
— значение модуля вектора пространственной частоты, вычисленное по 11.5. мкм’ 1;
0*^ — s*-e значение полярного угла вектора пространственной частоты с модулемf " 1.вычис
ленное по 11.5. мкм’1;
— числозначенийугловвекторов пространственнойчастоты смодулем1.определенное
по 11.5.
11.7Вычисляют значения максимального модуля вектора пространственной частоты / ^ х. мкм \
и минимального модуля вектора пространственной частоты Л1^. мкм-1. для / =1, 2. 3 по формулам
f(,l =4L .\(11)
=256L 1.(12)
где L,— линейный размер/-го кадра сканирования, заданный по 10.2.1,10.2.4 и 10.2.7. соответствен
но. мкм;
6