ГОСТ Р 8.700—2010
Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы ЙС Т А Н Д А Р ТР О С С И Й С К О ЙФ Е Д Е Р А Ц И И
Государственная система обеспечения единства измерений
МЕТОДИКА ИЗМЕРЕНИЙ ЭФФЕКТИВНОЙ ВЫСОТЫ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ
С ПОМОЩЬЮ СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДОВОГО АТОМНО-СИЛОВОГО МИКРОСКОПА
State system for ensuring the uniformity of measurements.
Methods of surface roughness effective height measurements by means of scanning probe atomic force microscope
Дата введения — 2010—11—01
1 Область применения
Настоящий стандарт устанавливает методику измерений эффективной высоты шероховатости
изотропных поверхностей твердых тел с помощью сканирующего зондового атомно-силового микрос
копа.
Настоящий стандарт применяют при измерениях эффективной высоты шероховатости поверх
ностей твердых тел в диапазоне от 10’9 до 10~5м.
2 Нормативные ссылки
В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
ГОСТ Р 8.628—2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рель
ефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим
формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
ГОСТ Р 8.629—2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры
рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки
ГОСТ Р 8.630—2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы
сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные. Методика поверки
ГОСТ Р 8.635—2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы
сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные. Методика калибровки
ГОСТ Р 8.644—2008 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры
рельефные нанометровогодиапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика калибровки
ГОСТ Р ИСО 14644-2—2001 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды.
Часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия
ГОСТ Р ИСО 14644-Г
ГОСТ Р ИСО 14644-5—2005 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды.
Часть 5. Эксплуатация
ГОСТ 12.1.005—88 Система стандартов безопасности труда. Общие санитарно-гигиенические
требования к воздуху рабочей зоны
ГОСТ 12.1.045—84 Система стандартов безопасности труда. Электростатические поля. Допус
тимые уровни на рабочих местах и требования к проведению контроля
ГОСТ 25142—82 Шероховатость поверхности. Термины и определения.
П р и м е ч а н и е — При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылоч
ных стандартов в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агент-
• ГОСТ Р ИСО 14644-1—2000 отменен; с 01.04.2004 г. действует ГОСТ ИСО 14644-1—2002.
Издание официальное
1