ГОСТ Р 8.700—2010
ства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодно издаваемому информационно му
указателю «Национальные стандарты*, который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по
соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям, опубликованным в текущем году. Если
ссылочный стандарт заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководствоваться за
меняющим (измененным) стандартом. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в котором да на
ссылка на него, применяется е части, не затрагивающей эту ссылку.
3Термины и определения
В настоящем стандарте применены термины по ГОСТ25142 и РМГ29 [1], а также следующие тер
мины с соответствующими определениями.
3.1 шороховатость поверхности (твердого тела): Совокупность неровностей поверхности с
относительно малыми шагами, выделенная с помощью кадра сканирования зондового атомно-силово го
микроскопа.
3.2 сканирующий зондовый атомно-силовой микроскоп (микроскоп): Зондовый атом
но-силовой микроскоп с нормированными метрологическими характеристиками, формирующий
информативный сигнал путем сканирования поверхности острием зонда.
3.3 кадр сканирования (поверхности твердого тела): Пространственно локализованная часть
поверхности, расположение которой и ее размеры введены в программу управления микроскопом.
П р и м е ч а н и е — Расположение кадра сканирования задают точкой начала сканирования на поверхности
твердого тела, направлением декартовых осей координат, линейными размерами и числом точек сканирования.
3.4 радиус-вектор поверхности: Направленный отрезок, соединяющий начало координат кад
ра сканирования и точку, расположенную в пределах кадра сканирования.
3.5 функция неровностей поверхности (твердого тела): Двумерная дискретная функция в
декартовой системе координат, значения которой определяют по высотам неровностей поверхности,
измеренным в заданных точках с помощью сканирующего зондового атомно-силового микроскопа.
3.6 функция спектральной плотности мощности поверхности твердого тела: Функция, рав
ная квадрату модуля Фурье преобразования функции неровностей поверхности твердого тела.
П р и м е ч а н и е — Функция спектральной плотности мощности поверхности твердого тела несет в себе пол
ную статистическую информацию о распределении высот неровностей на поверхности по их линейным размерам.
3.7 сканирование (неровностей поверхности твердого тела): Измерение высот неровностей
поверхности с помощью сканирующего зондового атомно-силового микроскопа.
3.8 эффективная высота шероховатости поверхности: Параметр шероховатости, равный
среднеквадратическому отклонению высот неровностей поверхности, которое вычисляется интегри
рованием функции спектральной плотности мощности поверхности твердого тела.
3.9 погрешность результата измерения (погрешность измерения): Отклонение результата
измерения от истинного (действительного) значения измеряемой величины [1).
3.10 абсолютная погрешность измерения: Погрешность измерения, выраженная в единицах
измеряемой величины [1].
3.11 относительная погрешность измерения: Погрешность измерения, выраженная отноше
нием абсолютной погрешности измерения к действительному или измеренному значению измеряемой
величины [1].
3.12 среднеквадратическая погрешность результата измерений среднеарифметического:
Оценка S j случайной погрешности среднеарифметического значения результата измерений одной и
той же величины в данном ряду измерений, вычисляемая по формуле
где х(— результат /-го единичного измерения:
7 — среднеарифметическое значение измеряемой величины из п единичных результатов:
л — число единичных измерений в ряду (1J.
3.13 доверительные границы погрешности результата измерений: Наибольшее и наимень
шее значения погрешности измерений, ограничивающие интервал, внутри которого с заданной вероят
ностью находится искомое (истинное) значение погрешности результата измерений [1].
2