ГОСТ Р 8.700—2010
4 Требования к погрешности измерений
Пределы допускаемой относительной погрешности результатов измерений эффективной высоты
шероховатости поверхности твердых тел должны быть менее ± 12 % при доверительной вероятности
Р= 0.95.
5 Средства измерений и вспомогательные устройства
5.1 Сканирующий эондовый атомно-силовой микроскоп с эффективным радиусом острия зонда
не более 30 нм. Микроскоп должен быть поверен по ГОСТ Р 8.630 или откалиброван по ГОСТ Р 8.635
с помощью рельефной меры нанометрового диапазона, изготовленной по ГОСТ Р 8.628 и
поверенной по ГОСТ Р 8.629 или откалиброванной по ГОСТ Р 8.644.
5.2 В качестве вспомогательного оборудования применяют оптический микроскоп с не менее
400-кратным увеличением.
5.3 Средства измерений параметров окружающей среды с абсолютными погрешностями изме
рений не более:
- температура окружающей среды ......................................... ± 0.3 °С;
- относительная влажность воздуха.........................................± 1,5 %;
- атмосферное давление............................................................± 130 Па.
6 Метод измерений
Измерение эффективной высоты шероховатости поверхности твердого тела проводят методом
спектрального разложения функции неровностей поверхности, полученной путем сканирования
поверхности твердого тела с помощью сканирующего зондового атомно-силового микроскопа.
7 Требования безопасности
При проведении измерений необходимо соблюдать правила электробезопасности по [2]. [3] и
требования по обеспечению безопасности на рабочих местах по ГОСТ 12.1.005. ГОСТ 12.1.045, [4] и [5].
а также требования, установленные в эксплуатационной документации на используемый сканирую щий
зондовый атомно-силовой микроскоп.
Рабочие места операторов должны быть аттестованы по условиям труда в соответствии с требо
ваниями национального трудового законодательства.
8 Требования к квалификации операторов
Измерения должны проводить штатные сотрудники предприятия, имеющие соответствующую
профессиональную подготовку, опыт работы со сканирующими зондовыми атомно-силовыми микро
скопами и изучившие требования настоящего стандарта.
9 Условия измерений
9.1 Помещение (зона), в котором проводят измерения, должно быть в эксплуатируемом состоя
нии и обеспечивать классчистоты не более 8 ИСО по взвешенным в воздухе частицам размерами 0.5 и
5 мкм и концентрациям, определенными по ГОСТ ИСО 14644-1. Периодичность контроля состояния
помещения (зоны) определяют по ГОСТ Р ИСО 14644-2. Эксплуатацию помещсния(зоиы) осуществля
ют по ГОСТ Р ИСО 14644-5.
9.2 При проведении измерений необходимо соблюдать следующие условия:
- температура окружающего воздуха должна быть (20 ± 5) X . а ее изменения за время выполне
ния измерений — не более ± 0,9 X ;
- относительная влажность воздуха должна быть (65 ± 15) %. а ее изменения за время выполне
ния измерений — не болео ± 5 %;
- атмосферное давление должно быть (100 ± 4) кПа;
3