ГОСТ Р 8.700—2010
- напряжение питающей электрической сети должно быть (220 ± 22) В;
- частота питающей электрической сети должна быть (50.0 1 0.4) Гц.
9.3При проведении измерений необходимо применение активной и пассивной защиты микро
скопа от механических вибраций.
10 Подготовка и проведение измерений
10.1 При подготовке к проведению измерений эффективной высоты шероховатости поверхности
твердых тел выполняют следующие операции.
10.1.1 Проводят измерения параметров окружающей среды, питающей электрической сети и
проверяют выполнение требований, указанных в раздело 9.
10.1.2 Выполняют операции по подготовке сканирующего зондового атомно-силового микроско
па (далее — микроскоп) к работе. При этом проводят внешний осмотр микроскопа, в процессе которого
должно быть установлено:
- соответствие комплекта поставки микроскопа данным, приведенным в паспорте (формуляре), и
наличие свидетельства о поверке (сертификата о калибровке);
- отсутствие механических повреждений всех составных частей и функциональных элементов
микроскопа;
- отсутствие повреждений соединительных кабелей и сетевых разъемов.
10.1.3 В соответствии с инструкцией по эксплуатации микроскопа устанавливают и закрепляют
исследуемое твердое тело (далее — образец) в держатель рабочего стола микроскопа.
10.1.4 На поверхности образца выбирают участок, размеры которого должны быть не менее
установленныхв 10.2.1 и 10.3. В процессеоперации рекомендуется использоватьоптический микроскоп.
10.1.5 Зонд микроскопа устанавливают над поверхностью образца, при этом острие зонда долж
но быть расположено над точкой измерения поверхности образца.
10.2Сканирование поверхности образца для формирования функции неровностей поверхности
образца проводят в контактном или полуконтактном режимах в следующей последовательности.
10.2.1 В системе управления измерениями микроскопа устанавливают кадр сканирования, пло
щадь которого имеет квадратную форму с размерами сторон 100 мкм.
10.2.2 В системе управления измерениями микроскопа устанавливают разрешение кадра скани
рования 512 х 512 точек.
10.2.3 В соответствии с инструкцией по эксплуатации микроскопа сканируют исследуемый учас
ток поверхности образца и записывают значения функции неровностей поверхности гл(хр, yq) в нано
метрах в соответствующий файл на жестком диске электронно-вычислительного устройства
микроскопа.
10.2.4 В системе управления измерениями микроскопа устанавливают кадр сканирования, пло
щадь которого имеет квадратную форму с размерами сторон 10 мкм. Указанный кадр сканирования
размещают в пределах площади кадра сканирования по 10.2.1.
10.2.5 В системе управления измерениями микроскопа устанавливают разрешение кадра скани
рования 512 х 512 точек.
10.2.6 В соответствии с инструкцией по эксплуатации микроскопа сканируют исследуемый учас
ток поверхности образца и записывают значения функции неровностей поверхности z2(xp. yq) в нано
метрах в соответствующий файл на жестком диске электронно-вычислительного устройства
микроскопа.
10.2.7 В системе управления измерениями микроскопа устанавливают кадр сканирования, пло
щадь которого имеет квадратную форму с размерами сторон 1мкм. Указанный кадр сканирования раз
мещают в пределах площади кадра сканирования по 10.2.4.
10.2.8 В системе управления измерениями микроскопа устанавливают разрешение кадра скани
рования 512 х 512 точек.
10.2.9 В соответствии с инструкцией по эксплуатации микроскопа сканируют исследуемый учас
ток поверхности образца и записывают значения функции неровностей поверхности z3(xp, yq) в нано
метрах в соответствующий файл на жестком диске электронно-вычислительного устройства
микроскопа.
10.3 Измерения по 10.2 проводят еще четыре раза для а = 2,3...., 5. При этом расположение кад
ров сканирования на образце выбирают произвольно.
П р и м е ч а н и е — Измерения, выполненные по 10.2 до проведения измерений по 10.3. соответствуют « = 1.
4