ГОСТ Р 8.700—2010
(23)
где а(а> значение эффективной высоты шероховатости поверхностидля а = 1.25. вычисленное
по 11.17—11.18. нм.
11.20Значения эффективной высоты шероховатости поверхности о иотносительной погрешнос
ти ее измерений & вычисленные по 11.19 и 12.4. указывают совместно со значением эффективного
радиуса острия зонда, определенным при поверке(калибровке) микроскопа по 5.1.
12 Контроль погрешности результатов измерений
12.1 Среднеквадратическую погрешность S„, нм, измерения значения эффективной высоты
шероховатости поверхности о вычисляют по формуле
| £(«,<■»- o f
Sа = lj_ ^ ________(2Л)
|
20
где <т,а) — значение эффективной высоты шероховатости поверхностидля а = 1,2
.....
5. вычисленное
по 11.17—11.18. нм;
а — значение эффективной высоты шероховатости, вычисленное по 11.19. нм.
12.2 Суммарную погрешность S*. нм. измерения значения эффективной высоты шероховатости
поверхности образца вычисляют по формуле
где
а —
значение эффективной высоты шероховатости, вычисленное по 11.19. нм;
— относительная погрешность результата измеренийлинейных размеров по оси Z. указанная в
паспорте (формуляре) на микроскоп;
— среднеквадратическая погрешность измерения значения эффективной высоты шерохова
тости поверхности, вычисленная по 12.1, нм.
12.3 Доверительную границу суммарной погрешности ASt , нм, измерения эффективной высоты
шероховатости поверхности при доверительной вероятности Р = 0.95 вычисляют по формуле
AS£ = 4.47Slt(26)
где S< — суммарная погрешность измерения значения эффективной высоты шероховатости поверх
ности, вычисленная по 12.2. нм.
12.4 Относительную погрешность измерения S, %. эффективной высоты шероховатости поверх
ности образца вычисляют по формуле
S =^L100.<27>
О
где
a
S£ — доверительная граница суммарной погрешности измерения эффективной высоты шерохо
ватости поверхности, вычисленная по 12.3. нм;
ст— значение эффективной высоты шероховатости, вычисленное по 11.19. нм.
12.5 Сравнивают значение относительной погрешности измерения й вычисленное по 12.4. со
значением погрешности измерения, приведенным в разделе 4.
Если вычисленное по 12.4 значение погрешности болееустановленного в разделе 4. то выясняют
причины такого превышения, устраняют их и повторяют измерения в соответствии с требованиями
настоящего стандарта.
13 Оформление результатов измерений
13.1 Результаты измерений эффективной высоты шероховатости поверхности твердых тел
оформляют в видо протокола по форме, принятой на предприятии, проводившем измерения.
13.2 В протоколе должны быть приведены следующие сведения;
- полное и сокращенное наименования предприятия, проводившего измерения;
9