ГОСТ Р 8.697—2010
3.2 токовый рефлекс: Обособленная область на электронограмме, локально отличающаяся от
окружающих ее областей большей яркостью (на мониторе электронно-вычислительного устройства
регистрирующейсистемы)иобразующаяся в результате попадания на детекторэлектронного пучка при
выполнении условийдифракции.
П р и м е ч а н и е — Множество токовых рефлексов формирует дифракционную картину.
3.3 электрометрическая электронограмма (элоктронограмма): Дифракционная картина от
кристалла, зарегистрированная с помощью электрического детектора путем измерения электронного
тока в каждой точке исследуемого участкадифракционной картины.
3.4 дифракционное кольцо (токовых рефлексов): Совокупность токовых рефлексов на элек-
тронограмме. находящихся на одном расстоянии отее центра.
3.5 интенсивность (токового рефлекса): Яркость токового рефлекса на электрометрической
электронограмме.
П р и м е ч а н и е — Интенсивность токового рефлекса измеряют силой тока электронного пучка, падающе
го на детектор и формирующего данный рефлекс.
3.6 постоянная (просвечивающего электронного) микроскопа: Числовая величина, завися
щая от геометрических параметров и режима работы микроскопа и определяющая взаимосвязь между
линейными расстояниями на получаемой электронограмме и межплоскостными расстояниями в
кристалле.
П р и м е ч а н и е — Постоянная микроскопа равна удвоенному произведению длины волны падающих на
кристалл электронов на расстояние от точки вхождения пучка вкристалл до детектора или фотографической плас
тинки (фотопленки).
3.7 погрешность (результата) измерения: Отклонение результата измерения от истинного
(действительного) значения измеряемой величины [1].
3.8 абсолютная погрешность измерения: Погрешность измерения, выраженная в единицах
измеряемой величины [1].
3.9 относительная погрешность измерения: Погрешность измерения, выраженная отношени
ем абсолютной погрешности измерения к действительному или измеренному значению измеряемой
величины (1).
3.10 статистическая погрешность измерения интенсивности (токового рефлекса): Относи
тельная погрешностьизмеренияинтенсивноститоковогорефлексана каждомотдельном шагесканиро
ваниядифракционной картины врежиме счетатоковых рефлексов надетекторе.
П р и м е ч а н и е — Статистическая погрешность измерения интенсивности равна отношению единицы к
корню квадратному от заданного количества токовых импульсов на детекторе при накоплении сигнала на каждом
отдельном шаге сканирования дифракционной картины.
3.11 среднеквадратичоская погрешность результата измерений среднеарифметического:
Оценка Sj- случайной погрешности среднеарифметического значения результата измерений одной и
тойже величины вданном ряду измерений, вычисляемая поформуле
где xt — результатУ-гоединичного измерения;
х — среднеарифметическое значение измеряемой величины из п единичных результатов;
п — число единичных измерений в ряду [1].
3.12доверительные границы погрешности (результата измерений): Наибольшее инаимень
шее значения погрешности измерений, ограничивающие интервал, внутри которого с заданной вероят
ностью находится искомое (истинное)значение погрешности результата измерений [1].
4 Требования кпогрешности измерений
Пределы допускаемой относительной погрешности результатов измерений межплоскостных рас
стояний в кристаллахдолжны быть не более ± 5 % при доверительной вероятности Р = 0.95.
(3.1)
2