ГОСТ Р 8.628—2007
Приложение А
(справочное)
Технологический процесс изготовления рельефной меры с использованием
анизотропного травления
Основные этапы технологического процесса изготовления рельефной меры приведены на рисунке А.1.
<1003
6
а
— исходная пластина монокристаллического кремния с ориентацией поверхности (100). б — пластина с нанесенной техноло
гической защитой (маской); а — пластина после анизотропного травления,
h
— глубина травления; а — пластина после удале
ния технологической защиты с элементами рельефа
Рисунок А.1
П р и м е ч а н и е — Поверхности пластин представляют собой кремневую структуру, покрытую диокси
дом кремния, образовавшегося в процессе взаимодействия кремния с окружающей средой.
4