ГОСТ Р 8.628—2007
Н А Ц И О Н А
Л
Ь Н Ы ЙС Т А Н Д А Р ТР О С С И Й С К О ЙФ Е Д Е Р А Ц И И
Государственная система обеспечения единства измерений
МЕРЫ РЕ
Л
ЬЕФНЫЕ НАНОМЕТРОВОГО ДИАПАЗОНА ИЗ МОНОКРИСТА
ЛЛ
ИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ
Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для
изготовления
Slate system lor ensunng the uniformity of measurements. Single-crystal silicon nanometer range relief measures.
Requirements for geometrical shapes, linear sizes and manufacturing material selection
Дата введения — 2008—02—01
1 Область применения
Настоящийстандартустанавливаеттребованияк геометрическим формам и линейным размерам,
а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометровогодиапазона из монокрис-
таллического кремния (далее — рельефные меры) для диапазона линейных измерений от 10 9
до 10~6 м.
Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения
всех видов поверок растровых электронных микроскопов по ГОСТ Р 8.631 и сканирующих зондовых
атомно-силовых микроскопов по ГОСТ Р 8.630 при проведении государственного метрологического
контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов мик
роскопов.
(Измененная редакция, Изм. Ns 1).
2 Нормативные ссылки
В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
ГОСТ Р 8.629—2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рель
ефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки
ГОСТ Р 8.630—2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы
сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика поверки
ГОСТ Р 8.631—2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы
электронные растровые. Методика поверки
ГОСТ 19658—81 Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия
П р и м е ч а н и е — При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылоч
ных стандартов в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агент
ства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодно издаваемому информационно
му указателю «Национальные стандарты», который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по
соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям, опубликованным в текущем году. Если
ссылочный стандарт заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководствоваться за
меняющим (измененным) стандартом. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в котором
дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.
(Измененная редакция, Изм. Ns 1).
Издание официальное
1