ГОСТ Р 8.628-2007; Страница 7

или поделиться

Ещё ГОСТы из 41757, используйте поиск в верху страницы

ГОСТ 17024-2015 Фрезы концевые. Технические условия End mills. Specifications (Настоящий стандарт распространяется на технические условия концевых фрез с цилиндрическим, коническим хвостовиком Морзе и хвостовиком конусностью 7:24, предназначенных для обработки поверхностей и уступов) ГОСТ 2642.4-2016 Огнеупоры и огнеупорное сырье. Методы определения оксида алюминия Refractories and refractory raw materials. Methods for determination of aluminium oxide (Настоящий стандарт распространяется на огнеупорное сырье, кремнеземистые, алюмосиликатные, глиноземистые, глиноземоизвестковые, высокомагнезиальные, магнезиальноизвестковые, известковые, магнезиальношпинелидные, магнезиальносиликатные огнеупоры и устанавливает методы количественного определения оксида алюминия: - комплексонометрический метод определения оксида алюминия без отделения оксида кремния (IV) (при массовой доле от 15 % до 99 %); - комплексонометрический метод определения оксида алюминия (при массовой доле от 0,5 % до 70 %); - ускоренный комплексонометрический метод определения оксида алюминия в огнеупорных глинах, каолинах, глиноземистых и алюмосиликатных огнеупорных материалах и изделиях (при массовой доле от 15 % до 99 %); - фотометрический метод определения оксида алюминия в высокомагнезиальных и магнезиальноизвестковых материалах и изделиях (при массовой доле от 0,05 % до 1 %)) ГОСТ 28435-2015 Фрезы концевые с механическим креплением сменных многогранных твердосплавных пластин. Размеры End mills with mechanically clamped indexable in serts. Dimensions (Настоящий стандарт распространяется на фрезы концевые с механическим креплением сменных многогранных твердосплавных пластин, предназначенные для обработки пазов и уступов в деталях из конструкционных сталей и чугуна)

Страница 7

Страница 1

Untitled document

ГОСТ Р 8.628—2007

аы сггуп

Выетчп

тралмридвлдея формы

Liiarcww структуре (фрагмент)

Рисунок 1 — Типовые элементы рельефа рельефной меры

4.3 Конкретную геометрическую форму элементов рельефа рельефной меры выбирают в соот

ветствиисметодиками поверки растровыхэлектронных микроскопов по ГОСТ Р 8.631 изондовых ска

нирующих атомно-силовых микроскопов по ГОСТ Р 8.630.

4.4

инейные размеры элементов рельефа выбираютизследующихдиапазонов значенийдля:

- ширины линий (верхние основания выступов) — от 5 •10’9до 8 ■10 7 м;

- высоты элементов рельефа — от 1• 10~7до 8 10*7 м;

- шага периодически повторяющихся структур — от 1•10’6 до 3 • 10 е м.

4.3, 4.4 (Измененная редакция, Изм. № 1).

5 Требования к материалу для изготовления рельефной меры

5.1 Рельефную меру изготавливают из пластин монокристаллического кремния марок ЭКЭФ

и ЭКДБ с удельным электрическим сопротивлением не менее 1 Ом м по ГОСТ 19658.

5.2 Рабочая поверхность пластины, на которой формируют элементы рельефа, должна быть

параллельна кристаллографической плоскости с индексами Миллера (100). Ориентацию кристал

лографической плоскости определяют по ГОСТ 19658. Допускаемое отклонение от параллельнос

ти рабочей поверхности и кристаллографической плоскости (100) не должно превышать 1\

5.3 Для формирования элементов рельефа на поверхности используют метод жидкостного

анизотропного травления раствором щелочи. Геометрическую структуру технологической защи

ты. концентрацию раствора щелочи и продолжительность процесса травления определяют, исхо дя

из размеров элементов рельефа, установленных в требованиях ксредствам поверки растровых

электронных микроскопов по ГОСТ Р 8.631 и сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов

по ГОСТ Р 8.630.

Основные этапы технологического процесса изготовления рельефной меры приведены в прило

жении А.

(Измененная редакция, Изм. № 1).