ГОСТ Р 8.628—2007
УДК 531.711.7.089:006.354ОКС 17.040.01Т88.1
Ключевые слова: длина, рельефные меры нанометрового диапазона, монокристаллический кремний,
размеры, формы, материал, растровые электронные микроскопы, зондовые сканирующие атом но-
силовые микроскопы
6