ГОСТ Р 8.628—2007
3 Термины и определения
В настоящем стандарте применены термины по РМГ29 [1].а также следующие термины ссоответ
ствующими определениями.
3.1 рельеф поверхности (твердого тела): Поверхность твердого тела, отклонения которой от
идеальной плоскости обусловлены естественными причинами или специальной обработкой.
3.2 элемент рельефа (поверхности): Пространственно локализованная часть рельефа повер
хности.
3.3 одиночный элемент рельефа (поверхности): Элемент рельефа, место расположения кото
рого на поверхности исключает влияние других элементов на результаты измерения параметров
данного элемента.
3.4 элемент рельефа в форме выступа (выступ): Элемент рельефа, расположенный выше
прилегающих к нему областей.
3.5 элемент рельефа в форме канавки (канавка): Элемент рельефа, расположенный между
двумя выступами.
3.6 элемент рельефа в форме ступеньки (ступенька): Элемент рельефа, образованный
двумя параллельными полуплоскостями и плоской стенкой, соединяющей параллельные границы
этих полуплоскостей.
3.7 элемонт рельефа в форме линии (линия): Элемент рельефа, линейная длина которого в
направлении, перпендикулярном к плоскости минимального по площади сечения, значительно пре
вышает остальные линейные размеры.
П р и м е ч а н и е —
Л
иния может представлять собой как выступ, так и канавку.
3.8 геометрическая форма элемента рельефа: Геометрическая фигура, наиболее адекват
но аппроксимирующая форму минимального по площади сечения элемента рельефа.
Пример — Трапецеидальный вы ступ, представляющий собой элемент рельефа поверхности, гео
метрическая форма минимального по площади сечения которого наиболее адекватно аппроксимирует ся
трапецией.
3.9 мера (физической) величины: Средство измерений, предназначенное для воспроизведения и
(или) хранения физической величины одного или нескольких заданных размеров, значения которых выра
жены в узаконенных единицах и известны с необходимой точностью (1).
3.10 рельефная мера: Средствоизмерений длины, представляющее собой твердый объект, линей
ные размеры элементов рельефа которого установлены с необходимой точностью.
П р и м е ч а н и е — Рельефная мера может быть изготовлена с помощью средств микро- и нанотехноло
гии или представлять собой специально обработанный объект естественного происхождения.
3.11 рельефная мера нанометровогодиапазона: Мера,содержащая элементы рельефа, линей
ный размер хотя бы одного из которых менее 10"6 м.
3.12 шаговая структура (рельефа поверхности): Совокупность повторяющихся в определен
ном направлении элементов рельефа одинаковой геометрической формы.
П р и м е ч а н и е — Обычно число повторяющихся элементов в шаговых структурах более S.
3.13 ширина элемента рельефа поверхности: Величина отрезка, характеризующая длину
верхнего (нижнего) основания геометрического профиля элемента рельефа поверхности.
(Измененная редакция, Изм. № 1).
4 Геометрические формы и линейные размеры элементов рельефа
4.1 На рабочей поверхности пластины область, занятая рельефной мерой, представляет собой
квадрат со стороной не более 10 мм.
4.2 Рельеф поверхности рельефной меры представляет собой совокупность одиночных эле
ментов рельефа (выступов, линий, ступенек)и одной или нескольких шаговыхструктур, вспомогатель
ных линий и маркерных знаков. Площадь поверхности, занимаемая указанной совокупностью
элементов рельефа, — не более 1 мм2.
Схематические изображения наиболее часто используемых элементов рельефа поверхности
рельефной меры приведены на рисунке 1.
2