ГОСТ Р 8.628-2007; Страница 4

или поделиться

Ещё ГОСТы из 41757, используйте поиск в верху страницы

ГОСТ 17024-2015 Фрезы концевые. Технические условия End mills. Specifications (Настоящий стандарт распространяется на технические условия концевых фрез с цилиндрическим, коническим хвостовиком Морзе и хвостовиком конусностью 7:24, предназначенных для обработки поверхностей и уступов) ГОСТ 2642.4-2016 Огнеупоры и огнеупорное сырье. Методы определения оксида алюминия Refractories and refractory raw materials. Methods for determination of aluminium oxide (Настоящий стандарт распространяется на огнеупорное сырье, кремнеземистые, алюмосиликатные, глиноземистые, глиноземоизвестковые, высокомагнезиальные, магнезиальноизвестковые, известковые, магнезиальношпинелидные, магнезиальносиликатные огнеупоры и устанавливает методы количественного определения оксида алюминия: - комплексонометрический метод определения оксида алюминия без отделения оксида кремния (IV) (при массовой доле от 15 % до 99 %); - комплексонометрический метод определения оксида алюминия (при массовой доле от 0,5 % до 70 %); - ускоренный комплексонометрический метод определения оксида алюминия в огнеупорных глинах, каолинах, глиноземистых и алюмосиликатных огнеупорных материалах и изделиях (при массовой доле от 15 % до 99 %); - фотометрический метод определения оксида алюминия в высокомагнезиальных и магнезиальноизвестковых материалах и изделиях (при массовой доле от 0,05 % до 1 %)) ГОСТ 28435-2015 Фрезы концевые с механическим креплением сменных многогранных твердосплавных пластин. Размеры End mills with mechanically clamped indexable in serts. Dimensions (Настоящий стандарт распространяется на фрезы концевые с механическим креплением сменных многогранных твердосплавных пластин, предназначенные для обработки пазов и уступов в деталях из конструкционных сталей и чугуна)

Страница 4

Страница 1

Untitled document

ГОСТ Р 8.628—2007

Введение

Для проведения линейных измерений в диапазоне от 10’9до 10

6 м используют растровые элек

тронные или сканирующиезондовые атомно-силовые измерительные микроскопы (далее — микроско

пы).Для их поверки и калибровки применяют материальные носители единицы длины (далее — меры),

размеры элементов которых определяют, используя стабилизированное по частоте лазерное излуче

ние. Длину волны лазерного излучения поверяют с помощью эталона длины.

На практике в качестве мер применяют рельефные меры нанометрового диапазона

(далее — рельефные меры), представляющие собой пластину из монокристаллического кремния,

на поверхности которой сформированы элементы рельефа определенной геометрической формы с

размерами основных элементов не более 10 е м.

В основе технологического процесса создания рельефных мер лежит использование анизот

ропного травления монокристаллического кремния, скорость травления в направлении одной из

кристаллографических плоскостей в кристаллической структуре кремния в несколько тысяч раз

превышает скорость травления в направлении другой кристаллографической плоскости.Угол меж

ду кристаллографическими плоскостями определен кристаллической структурой кремния.

В результате формируются пространственные геометрические фигуры с известным углом наклона

между боковыми стенками иоснованиями. Ориентацию рабочей поверхности пластины, на которой

формируются элементы рельефа, определяют рентгеновским дифракционным методом по мето

дике, установленной в ГОСТ 19658—81 «Кремний монокристаллический в слитках. Технические

условия».

Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным раз

мерам. атакже к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометровогодиапазона из

монокристаллического кремния. Рельефные меры могут быть изготовлены с трапецеидальным

профилем элементов рельефа. Методика их поверки установлена в ГОСТ Р 8.629—2007, а приме

нение для целей поверки микроскопов установлено:

- для растровых электронных микроскопов — в ГОСТ Р 8.631—2007;

- для сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов — в ГОСТ Р 8.630—2007.

(Измененная редакция, Изм. № 1).