ГОСТ Р 53734.3.3—2016
6.5.2 Очистите элементы испытательного устройства для удаления каких-либо загрязнений с по
верхности. которые могут вызвать потерю заряда. Особое внимание уделяйте разрядному зонду, за
рядному зонду и пластине возбуждения, на которой располагается устройство. Рекомендации приведе
ны в приложении В.
6.5.3 Расположите проверочный модуль 30 пФ на пластине возбуждения, обеспечивая тесный
контакт (при отсутствии воздушного зазора) между модулем и пластиной возбуждения. В случае ис
пользования диэлектрического слоя для проверки компонентов необходимо, чтобы он удовлетворял
требованиям, установленным в 5.2.3. и находился в наличии во время проведения процедуры под
тверждения соответствия.
6.5.4 Установите горизонтальную шкалу времени осциллографа на 0.5 нс на каждое деление шка
лы. Установите чувствительность осциллографа и смещение по вертикали с помощью аттенюатора,
если необходимо, для охвата центральных 80 % отклонений на полную шкалу.
6.5.5 Измените потенциал модуля или пластины возбуждения, установив положительный потен
циал на 500 В.
6.5.6 Разрядите модуль с помощью разрядного зонда, расположив его рядом с центральной ча
стью проверочного модуля и зафиксируйте форму импульса разрядного тока. Все параметры должны
находиться в диапазоне предельных значений, установленных на рисунке 4 и таблице 3. Зарегистри
руйте форму импульса.
6.5.7 Повторите порядок действий, установленный в 9.1.5 и 9.1.6, дополнительно не менее двух
раз. Сохраните запись для выполнения последующих оценок соответствия импульса (регистрируйте
все. а сохраняйте один результат, представляющий собой максимально близкий к среднему результату
для осуществления последующей проверки на соответствие).
6.5.8 Измените потенциал модуля или пластины возбуждения, установив отрицательный потенци
ал на 500 В. Повторите порядок действий, установленный в 6.5.6 и 6.5.7.
6.5.9 Применительно к проверочному модулю 4.0 пФ повторите действия по 6.5.4-6.5.8 с ис
пользованием всех уровней напряжения, представленных в таблице 3. Если максимальный потен
циал устройства составляет менее 2000 В. применяйте его в качестве максимального. Установите
чувствительность осциллографа и смещение по вертикали с помощью аттенюатора, если необхо
димо. для охвата центральных 80 % отклонений на полную шкалу применительно к каждому уровню
напряжения. Все параметры должны находиться в диапазоне предельных значений, установленных на
рисунке 4 и в таблице 3. Сохраните записи для выполнения последующих оценок соответствия
импульса.
Т аб л ица 2 — Уровни воздействия ЭСР модели заряженного устройства
Уровень воздейС1вия
Зарядное напряжение <В)
1
125
2
250
3
500
4
1000
5
1500
6
2000
6.6 Процедура оценки соответствия формы импульса ЭСР
Процедура оценки соответствия форм импульса должна обеспечивать точность задания форм
импульса разрядного тока в соответствии с требованиями настоящего стандарта для положитель
ной и отрицательной полярности с помощью небольшого проверочного модуля 4.0 пФ. указанного в
5.5.3.
Если используется оборудование для измерения ширины полосы 1,0 ГГц, то следует повторить
процедуру подтверждения соответствия испытательного устройства модели МЗУ, используя для этого
осциллограф 1.0 ГГц (см. рисунок 5 и таблицу 4). Зарегистрируйте формы импульса для последующих
сравнений.
7