ГОСТР ИСО 27911—2015
особенно подвержены топографическим артефактам. Данный эффект также более вероятен, когда ту
пой зоцд используют для отображения поверхности с быстро изменяющейся топографией. В этом слу
чае вариация (с изменением разделения наконечник—образец) оптической связи между зондом БСОМ и
образцом приводит к топографическим артефактам.
Для того чтобы избежать появления вышеописанных артефактов, необходимо устранить измене
ния топографии в образце и фоновом оптическом сигнале настолько, насколько возможно. Свободный
от топографии тестовый образец, при этом обеспечивающий оптический контраст, является хорошим
решением для устранения изменений топографии наповерхности образца, несмотря наточто подготов
ка такого образца может стать технически трудно осуществима [3]. Оптический фон может быть эффек
тивно устранен посредством формирования флуоресцентного изображения, где стоксовский сдвиг
люминесценции детектируется, пока падающий свет лазера блокируется. В этом случае можно
изолиро вать настоящий оптический сигнал от фонового сигнала, который может быть подвержен
влиянию взаи мопроникновения, потому что фоновый сигнал и флуоресцентный сигнал спектрально
разделены [4]. Однако, даже используя флуоресцентное формирование изображения, если часть или
целая отобража емая поверхность имеет фоновый флуоресцентный сигнал, любой оптический контраст
в этом фоновом сигнале может появиться из-за топографических артефактов. Следовательно, в
качестве тестового об разца желательны изолированные наноразмерные флуоресцентные объекты на
нелюминесцирующей подложке [4].
5.4.5 Латеральный размер образца
Данный параметр также важен при измерении латерального разрешения БСОМ. При формирова
нии изображения малого объекта записанное на БСОМ изображение является сверткой объекта и ТРФ
БСОМ. Следовательно, видимый размер объекта больший, чем ТРФ БСОМ. ТРФ БСОМ является не при
мером распределения Гаусса или Лоренца, а сложной функцией, которая зависит от грани апертуры, со
стояния внешнего металлического покрытия, входной поляризации, состояния светового соединения и т.
д. В дополнение к этому невозможно осуществить развертку настоящего ТРФ БСОМ из наблюдаемого
профиля малогообъекта наизображении БСОМ. Поэтому рекомендуется снизить влияние размераобъ
екта. калибруясь с использованием объектов с размерами много меньшими, чем теоретически доступ
ное разрешение БСОМ. В этом случае при максимальном приближении можно принять ШПВ
наблюдаемого профиля малого объекта как ШПВ БСОМ ТРФ (см. 6.2).
5.4.6 Поляризация излучаемого света
Различные поляризации могут формировать различные изображения БСОМ одного и того же об
разца в одинаковых экспериментальных условиях; следовательно, рекомендуется позаботитьсяо выбо
ре входной поляризации падающего света. Поляризация сильно влияет на распределение поля вокруг
апертуры зонда БСОМ в обоих случаях, когда апертура зонда БСОМ изотропна инет.Также это оказыва ет
влияние на ТРФ БСОМ и тем самым на оценку латерального разрешения.
Кроме того, существуют определенные чувствительные к поляризации образцы с анизотропным
поглощением или флуоресценцией [16). которые дают различный оптический контраст в полученных
изображениях БСОМ в зависимости от поляризации входного света. Следовательно, не следует исполь
зовать эти типы образцов в качестве тестовых для БСОМ.
5.4.7 Зазор между зондом и поверхностью образца
Зазор между зондом БСОМ и поверхностьюобразца имеет прямое влияние нарезультат формиро
вания изображения БСОМ. Ближнепольное распределение на поверхности образца зависит от расстоя
ния от поверхности образца, в связи с чем. по мере того как расстояние мехзду зондом и поверхностью
возрастает, пространственное разрешение и оптическая интенсивность стремительно уменьшаются.
Поэтому ширинузазора должны регулироватьс целью устранения влияния наформирование изображе
ния БСОМ. В теории самый маленький зазор создает лучшее разрешение, однакодля стабильной рабо ты
БСОМ выбирают оптимальный зазор.
5.4.8 Собирающая оптика
Собирающая оптика с высокой ЧАдает улучшенный контраст, что позволяет получить более высо
кое разрешение за счет улучшения соотношения «сигнал-шум», позволяющего использовать меньшие
апертуры. Конфокальный пинхол напротивфотодетектора может улучшить контраст засчет исключения
фонового света.
5.4.9 Фотодетоктор
Излучение, собранное с помощью зонда БСОМ. относительно слабое, иногда всего лишь несколь
ко пиковатт. Для улучшения отношения «сигнал-шум» и упрощения использования зондов БСОМ с ма
ленькими апертурами рекомендуется применение высокочувствительных детекторов, таких как ТФУ
или ЛФД.
4