ГОСТ Р ИСО 27911—2015
Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы ЙС Т А Н Д А Р ТР О С С И Й С К О ЙФ Е Д Е Р А Ц И И
Государственная система обеспечения единства измерений
ХИМИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ ПОВЕРХНОСТИ
Сканирующая зондовая микроскопия.
Определение и калибровка латерального разрешения ближнепольного оптического
микроскопа
State system for ensuring the uniformity of measurements. Surface chemical analysis. Scannetg-probe microscopy.
Definition and calibration of the lateral resolution of a near-field optical microscope
Дата введения — 2016—01—01
1 Область применения
Настоящий стандарт описывает метод определения пространственного (латерального) разреше
ния апертурного ближнопольногосканирующего оптического микроскопа (далее потексту — БСОМ) по
средством формирования изображения объекта размером много меньше, чем ожидаемое разрешение.
Стандарт применимдля апертурных БСОМ. работающих в проходящем(их), отраженном(ых), собираю
щ ем ^) режиме(ах) излучение/сбор.
2 Нормативные ссылки
Нижеприведенные документы обязательны для применения настоящего документа. Для датиро
ванныхссылок применимы только процитированные документы. Для недатированныхссылок использу
ются последние версии приведенных документов (со всеми поправками).
ИСО 18115-2 Поверхностный химический анализ. Словарь. Часть 2. Термины, использующиеся в
сканирующей зондовой микроскопии (ISO 18115-2. Surface chemical analysis. Vocabulary)
3 Термины и определения
В настоящем стандарте применены термины и определения, приведенные в ИСО 18115-2 иследу
ющих выпусках, с соответствующими определениями:
3.1 дальнее поле (far field): Электромагнитное поле, находящееся на расстоянии от светового
источника, существенно превышающем длину волны света.
3.2 точка «размывания» функции (point «blurring» of the function): Отклик системы формирова
ния изображения на точку поверхности или изучаемый объект.
4 Обозначения и сокращения
В настоящем стандарте использованы следующие обозначения и сокращения:
КТ — квантовая точка;
ЛФД — лавинный фотодиод;
ТРФ — функция «размытия» точки (point spread function):
ТФУ — трубка фотоумножителя;
ЧА — числовая апертура;
ШПВ — ширина на половине высоты;
й
— ШПВ ТРФ БСОМ, т. е. латеральное разрешение БСОМ.
Издание официальное
1