ГОСТР ИСО 27911—2015
Введение
Ближнепольный сканирующий оптический микроскоп (БСОМ или СБОМ) — это вид сканирующего
зондового микроскопа с оптическим источником, позволяющий достичь существенно большего про
странственного разрешения, чем определенное дифракционным пределом Аббе. Разрешение БСОМ
обычно определяется размером апертуры. При отсутствии апертуры в БСОМ применяют в качестве
зонда заостренный световод, который используют для зондирования поверхности или молекул на по
верхности с помощью местного рассеивания света от поверхности тестового образца или вершины све
товода. Пространственное разрешение для рассеивающего БСОМ — это сложный параметр, поэтому
данный стандарт описывает только латеральное разрешение апертурных зоидовых БСОМ.
IV