ГОСТ Р 56251—2014
Рисунок 131
На рисунке 132 показано, что дефекты не соответствуют требованиям качества. Недопустимо
для классов 1. 2. 3.
Рисунок 132
6.2.6 Негативное подтравливание
На рисунке 133 показано равномерное негативное подтравливание до глубины 2.5 мкм. Пред
почтительно для классов 1.2. 3.
54