ГОСТ IEC/TR 60825-13—2016
гиваемые углы
а,
и onscan будут меньше omjn. В этом случае коэффициент Св = 1. Расстояние Z0 опре
деляется по формуле
где
dmax —
наибольший из двух размеров пучка в точке вершины сканирования.
7.8.8 Зависимый параметр Гауссова пучка,
q
Вне зависимости от суммарного количества энергии в пучке при классификации учитывают только
энергию, проходящую через ограничительную апертуру при заданном измерительном расстоянии.
В зависимости от ширины перетяжки и дивергенции пучка он может быть больше измерительной
апертуры в некоторых или во всех позициях вдоль доступной части пучка. При негауссовых пучках мощ
ность, проходящую через апертуру, следует измерять напрямую.
При симметричном Гауссовом профиле пучка часть всей энергии, проходящей через круговую
апертуру, находящуюся в центре пучка, будет выражаться как
где
АР —
диаметр измерительной апертуры;
dap — диаметр пучка в апертуре (определенный в соответствии с IEC 60825-1:2007, т.е. d63).
7.8.9 Коэффициент умножения угла сканирования
Чтобы определить подходящую длительность импульса, не проводя ее измерение непосредствен
но в каждой рассматриваемой точке, необходимо знать угловую скорость пучка сканирующего устройства.
Обычно сканирующим элементом является вращающееся зеркало или набор зеркал с постоянной скоро
стью вращения, но важно не путать скорость вращения зеркала с угловой скоростью пучка. В простом
слу чае. когда ось вращения перпендикулярна плоскости сканирования, угловая скорость пучка будет
больше скорости вращения зеркала на коэффициент 2. Этот коэффициент считают коэффициентом
умножения угла сканирования (SAM), и для одного вращающегося зеркала он всегда будет в пределах от 0
до 2.
На рисунке 14 показан случай, когда коэффициент SAM отличается от 2. Математически этот ко
эффициент. обозначаемый как KSAM, можно определить по формуле
где 0; и 0, — углы падения и отражения, указанные на рисунке 14.
П р и м е ч а н и е — К о э ф ф и ц и е н т S A M н е о б я за т е л ь н о о с т а е тс я п о с то я н н ы м п р и в р а щ е н и и зе р ка л а на
3 6 0 *. Е сл и это та к, т о д а н н о е у р а в н е н и е б у д е т то ч н ы м то л ь ко п р и с и м м е т р и р о в а н н о м ц е н тр е р а з в е р тки . О д н а ко о б ы ч н о п о л
н ы е утл ы р а з в е р тки ка ки м -л и б о о б р а з о м о гр а н и ч и в а ю т с я ко н е ч н ы м р а з м е р о м с ко ш е н н о й п о в е р х н о с т и , и ко э ф ф и ц и е н т S A M м
е н я е т с я н е с и л ь н о . П р и р а з в е р тка х с б о л ь ш и м у тл о м н е о б х о д и м о о п р е д е л и ть и з м е н е н и е с ко р о с т и п у ч ка .
Во многих случаях, чтобы обеспечить растр линий, разные грани зеркальной фигуры будут накло
нены под разными углами. В таких случаях в результате разных углов отражения каждая линия будет
иметь разную скорость пучка. Для узких растров разница будет небольшой, и для всех линий можно
использовать самую низкую скорость, но при более широких растрах может оказаться целесообразным
выполнить отдельный расчет для каждой линии.
Zo = tfma/) ,
0015
,
q =
1
-
K S A M = C0S 0 , + COS
%
3 3