ГОСТ IEC 61010-1—2014
SEMI S8
SEMI S10
UL 1439
Safety Guidelines for Ergonomics Engineenng of Semiconductor Manufactunng
Equipment (Руководство no безопасности дпя эргономики проектирования обору
дования по производству полупроводников)
Safety guideline for risk assessment (Руководство no оценке рисков с точки зрения
безопасности)
Standard for Tests for Sharpness of Edges on Equipment (Типовые испытания
острых кромок оборудования)
129