ГОСТ Р 55744-2013
5.2.3.2 Аппаратура и приборы
Дляизготовлениямикрошлифовнеобходимометаллографическое
оборудование. Для контроля микрошлифов применяют металлографический
микроскоп или металлограф, которые оснащены измерительной масштабной
сеткойилифилярнымокуляром,имеющимиградуировкуилишкалу,
обеспечивающиеполучениеминимальногоразмерасразрешающей
способностью, равной 50 % последней значащей цифры записанного в чертеже
на печатную плату размерного требования. Измерительная масштабная линейка и
микрометр должны быть откалиброваны в заданном увеличении, т. е. должна
быть установлена цена деления в микронах. Калибровку следует проводить с
частотой не менее одного раза в год. если требуется сохранить точность
размерного контроля.
5.2.3.3 Изготовление микрошлифа
Вырезают образец из печатной платы таким образом, чтобы не повредить
контролируемые элементы. В случае мягкого или тонкого покрытия, например
золота, олова или сплава олово-свинец, возможно нанесение дополнительного
твердого металла перед получением образцов. При необходимости контроля
толщины органического покрытия на него может быть нанесен дополнительный
слой металлизации или контрастного по цвету покрытия.
Образец заливают компаундом, который не должен оказывать вредного
воздействия на образцы. Между слоем компаунда и слоем, толщину которого
измеряют, не должно быть раковин в зоне измерения.
Образец должен быть тщательно отшлифован. Оставшиеся царапины не
должныпрепятствовать визуальному осмотру и измерениям с помощью
микроскопа. При измерении толщины слоя не должно быть царапин шириной
более 0,5 мкм или 1 % измеряемой величины в зависимости от того, что больше.
Если исследуют вертикальное сечение платы, то плоскость, подлежащая
полировке, должна быть в пределах 85°-90° по отношению к плоскости платы.
При измерении толщины металлизации сквозных металлизированных отверстий
видимый на микрошлифе диаметр отверстия должен быть не менее 90 %
фактического диаметра отверстия, измеренного до изготовления шлифа.
После полировки микрошлиф следует протравить так, чтобы границы
покрытий были четко видны.
5.2.3.4 Выбор увеличения при измерении определяется получением четкого
изображения поверхности, на которой находятся измеряемые элементы.
11