ГОСТ 8.605—2011
УДК 001.4:681.782.473:006.354МКС 17.020Т84.10
Ключевыеслова: государственныйпервичныйэталон, государственнаяповерочнаясхема, рабочий эта
лон. рабочее средство измерений, эллипсометрические утлы Дельта и Пси
Редактор
А.Ю. Тоыипин
Технический редактор
В.Н. Пруса
к
ова
Корректор
Ю.М. Про
к
офьева
Компьютерная верстка
О.Д. Череп
к
овой
Сдано в набор 30.10.2014.Подписано в печать 14 1 Т.2014. Формат 60> 64/£Гарнитура Ариал.
Уел. печ. л. 0.93. Уч.-изд л. 0.75. Тираж 72 экзЗак. 4660.
Издано и отпечатано во ФГУП «СТАНДАРТИНФОРМ». 123995 Москва. Гранатный пер., 4
www.
90
stinfo.ru
info@
90
stinfo.ru
ГОСТ 8.605-2011