ГОСТ 8.605—2011
М Е Ж Г О С У Д А Р С Т В Е Н Н Ы ЙС Т А Н Д А Р Т
Государственная система обеспечения единства измерений
ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА Д
Л
Я СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ
Э
ЛЛ
ИПСОМЕТРИЧЕСКИХ УГ
Л
ОВ
Stale system for ensuring the uniformity of measurements. State verification schedule for means of measunng of the
elllpsometric angles
Дата введения — 2014—07—01
1 Область применения
Настоящий стандарт распространяется на государственную поверочную схемудля средств изме
ренийэллипсометрическихугловДельта
Л
и ПсиЧ^Д— разность фазмеждудвумя ортогональнымир- и
s-компонентами векторанапряженностиэлектрическогополя световойволны, отраженнойили прошед
шей через исследуемый объект, tg ч* — отношение амплитуд р- и s-компонент вектора напряженности
электрическогополя световой волны)для оптическогоизлученияв видимойобластиспектра (см. прило
жение А) и устанавливает назначение государственного первичного эталона единиц эллипсометричес
ких углов — градуса, комплекс основных средств измерений, входящих в его состав, основные
метрологические характеристики эталона и порядок передачи единиц эллипсометрических углов от
государственного первичного эталона с помощью рабочихэталонов 1-го и2-го разрядов рабочим сред
ствам измерений с указанием погрешностей и основных методов передачи единиц.
2 Государственный первичный эталон
2.1 Государственный первичный эталон применяют для воспроизведения и хранения единиц
эллипсометрическихуглови передачиединицы с помощью рабочихэталонов рабочимсредствам изме
рений.
2.2 Государственный первичный эталон состоит из двух эталонных установок:
1) эталонной установки для воспроизведения, хранения и передачи единиц эллипсометрических
углов Дельта и Пси. в состав которой входят:
- цифровой спектральный эллипсометр;
- эталонные меры эллипсометрических углов в виде эллипсометрических пластинок — кремние
вых пластинокспленкой издвуокиси кремния различной толщины — дляконтролястабильностиэталона;
- цифровой метеостанции для измерений параметров окружающей среды;
- системы сбора и обработки измерительной информации на базе персональной ЭВМ.
2) эталонной установки для воспроизведения, хранения и передачи эллипсометрического угла
Дельта, в состав которой входят:
- цифровой поляриметр с вращающимся анализатором;
- эталонные меры эллипсометрического угла Дельта в виде четвертьволновых и полуволновых
фазовых пластинок нулевого порядка для контроля стабильности эталона;
- цифровой метеостанции для измерений параметров окружающей среды;
- системы сбора и обработки измерительной информации на базе персональной ЭВМ.
2.3 Диапазон значений эллипсометрическогоуглаДельта составляетот 0едо 360°. Диапазон зна
чений эллипсометрического угла Пси составляет от 0° до 90е.
2.4 Государственный первичныйэталонобеспечивает воспроизведение единицы эллипсометри
ческого углаДельта со средним квадратическим отклонением результатов измерений SAне более0,02°
Издание официальное
1