ГОСТ 8.605—2011
при 50 независимых измерениях. Границы неисключеиныхсистематических погрешностей 0Д не более
0.05°. Расширенная неопределенность Up:не более 0,08едля коэффициента охвата 2 и доверительной
вероятности Р = 0.95 при 50 независимых измерениях.
Государственный первичный эталон обеспечивает воспроизведение единицы эллипсометричес
кого угла Пси со средним квадратическимотклонением результатовизмерений Sy не более0.01епри50
независимых измерениях. Границы меисключеиных систематических погрешностей 0,,, не более
0,03°.Расширенная неопределенность Up:не более 0,06едля коэффициента охвата 2и доверительной
вероятности Р = 0,95 при 50 независимых измерениях.
2.5 Для обеспечения воспроизведения единиц эллипсометрических углов с указанной точностью
следуетсоблюдать правилахраненияи примененияэталона, утвержденныевустановленном порядке.
2.6 Государственный первичный эталон применяют для передачи единиц эллипсометрических
углов рабочим эталонам 1-го разряда методом прямых измерений.
3 Рабочие эталоны
3.1 Рабочие эталоны 1-го разряда
3.1.1 Вкачестве рабочихэталонов 1-го разряда применяютэталонные установки в виде эллипсо-
метров в диапазонахэллипсометрическогоуглаДельта от 0°до 360еиэллипсометрического угла Пси от
0едо 90е и полярископов-поляриметров в диапазоне эллипсометрического угла Дельта от 0° до 360°.
3.1.2 Доверительные абсолютные погрешности рабочихэталонов 1-го разряда бпридоверитель
ной вероятности0.95составляютдляэллипсометрическогоуглаДельта 0,07° идляэллипсометрическо
го угла Пси 0,04е.
3.1.3 Рабочие эталоны 1-го разряда применяютдля передачи единиц рабочим эталонам 2-го раз
ряда методом прямых измерений.
3.2 Рабочие эталоны 2-го разряда
3.2.1 В качестве рабочих эталонов 2-го разряда применяют меры эллипсометрических углов
Дельта и Пси в виде эллипсометрических пластинок — кремниевых пластинок с пленкой из двуокиси
кремнияразличной толщины — вдиапазонахэллипсометрическогоугла Дельтаот 0едо 360еиэллипсо-
метрическогоугла Пси от 0едо 90еи мерыэллипсометрическогоуглаДельта в видеэллипсометрических
фазовых пластинок в диапазоне от 0е до 360°.
3.2.2 Доверительные абсолютные погрешности рабочихэталонов 2-го разряда йпри доверитель
ной вероятности 0.95 составляютдля эллипсометрического угла Дельта от 0,08едо 0,2° идля эллипсо-
метричесхого угла Пси от 0,05е до 0,1е.
3.2.3 Рабочие эталоны применяют для передачи единиц рабочим средствам измерений в виде
эллипсометров, полярископов-поляриметров и компенсаторов методом прямых измерений.
4 Рабочие средства измерений
В качестве рабочих средств измерений применяют:
4.1 Эллипсометры с диапазонами измерений эллипсометрического угла Дельта от 0едо 360еи
эллипсометрического угла Пси от 0едо 90е.
Пределы допускаемой абсолютной погрешности л* измерений составляютдля эллипсометричес
кого угла Дельта от 0,09едо 0.5°.
Пределы допускаемой абсолютной погрешности \для эллипсометрического угла Пси от 0,06е
до 0,3е.
4.2 Полярископы-поляриметры с диапазоном измерений эллипсометрического углаДельта от 0е
до 360е.
ПределдопускаемойабсолютнойпогрешностиизмеренийэллипсометрическогоуглаДельта от
0,1едо 2.0°.
4.3 Компенсаторы с диапазоном измерений эллипсометрического угла Дельта от 0едо 10800е.
Пределдопускаемойабсолютной погрешностиАдизмеренийэллипсометрическогоуглаДельта от
1.0° до 6.0°.
2