ГОСТ 8.605—2011
Содержание
1 Область применения.........................................................................................................................................1
2 Государственный первичный эталон.............................................................................................................1
3 Рабочие эталоны...............................................................................................................................................2
4 Рабочие средства измерений......................................................................................................................... 2
Приложение А (обязательное) Государственная поверочная схема для средств измерений
эллипсометрических углов.......................................................................................................3
in