ГОСТ Р 8.716—2010
G = 3/,/(/, ♦ /2).(3)
Определяют среднее арифметическое значение G коэффициента линейности чувствительности
фотоприемника ЭУФ рефлектометра, относительное среднее квадратическое отклонение (CKO) S0,
суммарное CKO S,^ результатов измерений и рассчитывают составляющую систематической погреш
ности измерений, вызванную отклонением значения коэффициента линейности чувствительности
фотоприемника от единицы 0 О, %. поформуле
0o =1OO(G-1).(4)
Затем ток пучка повышают таким образом, чтобы показания /, увеличились в пять раз, и вновь
определяют G и 0О. Измерения повторяютдо достижения верхнего уровня коэффициента зеркального
отражения 1,00. Все полученные значения 0Онедолжны превышать 2 %.
Для определения коэффициента диффузного отражения в ЭУФ рефлектометр устанавливают
исследуемыйдиффузно отражающийобразец. Надлине волны 10нмпроводят измерение потока пада
ющегонаобразец излучения Р0(А). Регистрируютсигналы фотоприемникаЭУФ рефлектометрадля пря
мого пучка /°’ (X) и рассеянного излучения J0’ (А.). Затем регистрируют показания фотолриемника.
соответствующиедиффузноотраженномуизлучению Г (л.<р)ирассеянномуизлучениюJ’ (>„<р).При этом
фотоприемник последовательно устанавливают в положения, соответствующие значениям угла q>,от
■Pb,«fl0<fW cujar0M50-
Значение коэффициентадиффузного отражения р^(>.)определяют поформуле
*#(*>-
i- 1
[/°’(A)-J°’(/.)]m
(5)
где q — геометрический фактор ЭУФ рефлектометра;
т — число градаций поуглу д.
Определяют среднее арифметическое значение коэффициента диффузного отражения pd(A) и
СКО результата измерений SD.
Определениеpd(А)и SQповторяютдлядлин волнL в пределах рабочего спектральногодиапазона
ЭУФ рефлектометра. При значенииprf(A) не менее 0,01не должно превышать 4 % в диапазоне длин
волнот 10 до 30 нм.
Значениесистематической погрешности00,обусловленнойотклонением значениякоэффициента
линейности фотоприемника ЭУФ рефлектометра от единицы, не должно превышать 4 % в диапазоне
длин волн от ЮдоЗОнм.
11 Контроль погрешности результатов измерений
Контроль погрешности результатов измерений проводятпо ГОСТ8.207 в следующем порядке.
Основную относительную погрешность ^ рассчитывают поформуле
Ао = *Sv = К(0О2/3 ♦ S02)i*(6)
где К — коэффициент, определяемый соотношением случайной и неисключенной систематической
погрешностей:
tS0 ~G
(7)
So + (0 2 /3 )v2
0О— систематическая погрешность, обусловленная отклонением значения коэффициенталинейности
фотоприемника ЭУФ рефлектометра от единицы;
t — коэффициент Стьюдонта (t= 2.78).
4