ГОСТ Р 8.716—2010
Приложение А
(обязательное)
Коэффициенты зеркального и диффузного отражений
Измерения коэффициентов зеркального идиффузного отражений а спектральном диапазоне ЭУФ излучения
проводят для определения оптических констант материалов и тонких пленок, коэффициентов отражения зеркал и
эффективности дифракционных решеток, а также при контроле технологических процессов в микроэлектронике.
Коэффициент зеркального отражения плоского зеркала для параллельного пучка излучения, падающего под углом ч>
к нормали.рДХ.
ч
>)на длине волны X рассчитывают по формуле
р
РДХ. < ) - РАК
ф
)/Р*(Х).(А.1)
где Pf(x. ф) — поток излучения на длине волны х. отраженный под углом <рк нормали;
Р^(Х) — поток излучения на длине волныпадающий на зеркало под углом <р к нормали.
Коэффициент диффузного отражения р^Х) определяют в общем виде по формуле
Pd(X) =£1±
РаС’-)
| jL f(X.n)dAdn
(А.2)
где J-ДХ.п) — яркость рассеянного при отражении излучения, которая интегрируется в пределах телесного угла
а » 2х и по площади А:
А — площадь области образца, освещаемой падающим излучением;
Р0(Х) — поток падающего на образец под углом ф = 0 параллельного пучка излучения на длине волны X.
При определении коэффициента диффузного отражения измеряют угловую зависим ость освещенности рас
сеянного при отражении излучения £<»)с равномерным шагом по углу
ф
; т — число градаций по углу ф.
На практике коэффициент диффузного отражения рассчитывают с использованием интегральных сумм по
формуле
Рч(Х)
Ра().уп
(А.З)
2пЕ(£(<р)
в
ш
ф
1
R 2
где R — расстояние от области образца, освещаемой падающим излучением, до фотоприемника рефлектометра.
6