ГОСТ Р 8.716—2010
Проверяют состояние оптики. На поверхности оптических деталей не допускаются царапины,
помутнения и пятна.
10 Порядок выполнения измерений
Для измерения коэффициентов зеркального идиффузного отражений ЭУФ излучения выполняют
следующие операции.
Внешнийосмотр
При внешнем осмотре устанавливают:
- соответствие комплектности ЭУФ рефлектометра паспортным данным:
- отсутствие механических повреждений блоков ЭУФ рефлектометра:
- сохранностьсоединительных кабелей и сетевых разъемов:
- четкость надписей на панели блоков ЭУФ рефлектометра;
- наличие маркировки (тип и заводской номер ЭУФ рефлектометра);
- отсутствие сколов, царапин и загрязнений на оптическихдеталях ЭУФ рефлектометра.
Опробование
При опробовании проверяют наличие сигнала фотоприемника ЭУФ рефлектометра:
- при установке его в положение для измерения прямого пучка при включенном источнике ЭУФ
излучения;
- при установке диффузно отражающего образца при включенном источнике ЭУФ излучения.
Для определения коэффициента зеркального отражения в ЭУФ рефлектометр устанавливают
исследуемыйобразец. На монохроматоре ЭУФрефлектометраустанавливаютдлинуволны 10нм. соот
ветствующую наименьшейдлине волны рабочегодиапазона рефлектометра, иугол падения излучения
назеркало. ФотоприемникЭУФ рефлектометрапоочередноустанавливаютв положениедля измерения
интенсивности прямого изеркально отраженного пучков излучения, регистрируют сигналы фотоприем
ника для прямого пучка
Р(А)
и зеркально отраженного пучка
/ДА)
(см. ГОСТ
8.552).
Затем на входе фото
приемникаустанавливаютблокирующий светофильтри регистрируют показания приемникадля прямо
го пучка
J°(A)
и
зеркально отраженного пучка
J,(A),
соответствующие рассеянному излучению в
монохроматоре ЭУФ рефлектометра. Измерения /°(А).
/ДА),J°(A)
и Jr(
А)
проводят не менее пяти раз.
Результат/-го измерения коэффициента зеркального отражения
рп(А)
получают расчетом по фор
муле
Вычисляют среднее арифметическое значение
рДА).
Оценку относительного среднего квадрати
ческого отклонения Sa результатов п независимых измерений определяютпоформуле
Определение
рДА)
и
Sc
повторяютдля длин волн
Aj
в пределах рабочего спектральногодиапазона
ЭУФ рефлектометра. При значении
рг(А)
не менее0,01 для всех длин волн значение SQнедолжно пре
вышать2 % в диапазонедлинволнот 10 до30нм. Вцеляхпроверки коэффициенталинейностиЭУФ реф
лектометра определяют значение отклонения чувствительности фотоприемника ЭУФ рефлектометра
от постоянногозначения в рабочемдиапазоне измеряемой величины.
Определение коэффициента линейности чувствительности фотоприемника при измерении зер
кального отражения проводят на электронном накопительном кольце (см. ГОСТ 8.197) при изменении
тока пучка, соответствующего нижней и верхней границам диапазона измерений. Регистрируют сигнал
фотолриемиика /, дляфиксированноготокапучкаи сигналфотоприемника ^.соответствующий удвоен
ному значению тока пучка. Суммарный сигнал должен быть равен утроенному сигналу /,. Измерения
проводят пять разсиспользованием экранирующихзаслонокирассчитываюткоэффициентлинейности
чувствительности фотоприемника ЭУФ рефлектометра Gдля каждогоизмерения поформуле
1
РпО.) = [/„(>•) - J rjm P fl) -
j w
( )
(
2
)
P ,№ ( /> - 1 ) ]V2
з