ГОСТ Р 8.716—2010
3 Требования кпогрешности измерений
При измерении коэффициентов зеркального отражения основная относительная погрешность
результатов измерений не превышает 10 % вдиапазоне длин волн от 10до 30нм.
При измерении коэффициентов диффузного отражения основная относительная погрешность
результатов измерений не превышает 15 % вдиапазоне длин волн от 10до 30 нм.
4 Средства измерений и вспомогательные устройства
При выполнении измерений применяют следующие средства измерений и вспомогательные
устройства:
а) рефлектометр-монохроматор скользящего падения или другой прибор со следующими харак
теристиками:
- диапазон длин волн — от 10до 30 нм;
- диапазон измеряемых значений коэффициентов зеркального и диффузного отражений — от
0,01 до 0,99;
- основная относительная погрешность — от 10 %до 15 %;
б) комплектсветофильтров на основе многослойных наноструктур;
в) сетчатый нейтральный ослабитель.
5 Метод измерений
Методы измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражений ЭУФ излучения (см.
приложениеА)основаны на прямых измерениях припреобразовании потока излучения в электрический
сигнал при выполнении условий спектральной и угловой коррекций чувствительности фотопреобразо
вателя по [1].
6 Требования безопасности
При проведении измерений коэффициентовзеркальногоидиффузного отражений ЭУФ излучения
соблюдают правила электробезопасности. Измерения выполняют два оператора, аттестованных на
право проведения работпо группе электробезопасности нениже III. прошедших инструктаж на рабочем
месте побезопасности труда при эксплуатации электрических установок.
7 Требования кквалификации операторов
К измерениям коэффициентов зеркального и диффузного отражений ЭУФ излучения допускают
лиц. освоивших работус рефлектометрами, изучивших требования настоящегостандарта.
8 Условия измерений
При проведении измерений коэффициентовзеркальногоидиффузного отраженийЭУФ излучения
соблюдаютследующие условия:
- температура окружающей среды....................................................................................(20 ±5) °С;
- относительная влажность воздуха...............................................................................(65 ±15)%;
- атмосферное давление............................................................................................... 84—104кПа:
- напряжение питающей сети.............................................................................................(220 ±4) В;
- частота питающей сети.....................................................................................................(50±1)Гц.
При подготовке к проведению измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражений
ЭУФ излучения включают все приборы в соответствии с их инструкциями поэксплуатации.
9 Подготовка квыполнению измерений
При подготовкекпроведению измерений выполняютследующие работы.
Включают и подготавливаюткработе ЭУФ рефлектометр в соответствии сего инструкцией поэкс
плуатации.
2