ГОСТ Р 8.716—2010
Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы ЙС Т А Н Д А Р ТР О С С И Й С К О ЙФ Е Д Е Р А Ц И И
Государственная система обеспечения единства измерений
РЕФЛЕКТОМЕТРЫ ЭКСТРЕМАЛЬНОГО УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЙ
ХАРАКТЕРИСТИК МНОГОСЛОЙНЫХ НАНОСТРУКТУР В ДИАПАЗОНЕ ДЛИН ВОЛН от 10 до 30 нм
Методика измерений
State system for ensuring the uniformity of measurements. Reflectometers of the extreme ultraviolet radiation
for measurements of the characteristics of multilayer nanostructures in the wavelength range from 10 to 30 nm.
Measurement procedure
Дата введения — 2012—01—01
1 Область применения
Настоящий стандартраспространяется насредства измерений (СИ)характеристикмногослойных
наноструктур в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм — рефлектометры экстремального вакуумного
ультрафиолетового (ЭУФ) излучения (далее — ЭУФ рефлектомотры), предназначенные для измере
ния коэффициентов зеркального и диффузного отражений, и устанавливает методику выполнения
измерений коэффициентов зеркального идиффузного отражений.
ЭУФ рефлектометры обеспечиваютв диапазонедлин волнот 10до 30 нмизмерение коэффициен
тов зеркального идиффузного отражений вдиапазоне значенийот 0,01 до 0,99.
В качестве источников непрерывного ЭУФ излучения используют электронные накопительные
кольца. Вкачестве источниковимпульсного ЭУФизлучения используютоткрытые излучателинаоснове
капиллярного разряда с испаряющейся стенкой или плазменногофокуса, а такжеэлектронныесинхро
троны. В качестве приемников ЭУФ излучения используют солнечно-слепые фотодиоды на основе
многослойныхнаноструктур.
2 Нормативные ссылки
В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
ГОСТ 8.197—2005 Государственная система обеспечения единства измерений. Государствен
ная поверочная схемадлясредств измеренийспектральной плотностиэнергетической яркости вдиапа
зонедлин волн от 0,04до 0.25 мкм
ГОСТ 8.207—76 Государственная система обеспечения единства измерений. Прямые измере
ния с многократными наблюдениями. Методы обработки результатов наблюдений. Основные положе
ния
ГОСТ 8.552—2001 Государственная система обеспечения единства измерений. Государствен
ная поверочная схема для средств измерений потока излучения иэнергетической освещенности вдиа
пазонедлин волн от 0,03до 0.40 мкм
П р и м е ч а н и е — При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылоч
ных стандартов в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального
агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодно издаваемому информа
ционному указателю «Национальные стандарты», хоторый опубликован по состоянию на 1января текущего года, и
по соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям, опубликованным в текущем году.
Если ссылочный стандарт заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководство
ваться заменяющим (измененным) стандартом. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в
котором дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.
Издание официальное
1