ГОСТ 8.594—2009
7 Условия поверки и подготовка к ней
7.1 При проведении поверки микроскопадолжны бытьсоблюдены следующие условия:
- температура окружающей среды........................................... (20
±
3) ’С;
- относительная влажность воздуха.........................................не более 80%:
- атмосферное давление............................................................(10014)кПа;
- напряжение питающей сети....................................................(220
±
22) В:
- частота питающей сети............................................................(50.0
±
0.4) Гц.
7.2 Помещение (зона), в котором размещаютРЭМ и средства его поверки, должно бытьвэксплуа
тируемом состоянии иобеспечиватьклассчистоты неболее класса8 ИСО повзвешенным ввоздухечас
тицам с размерами 0.5 и5 мкм иконцентрациями, определенными по ГОСТ ИСО 14644-1.
7.3 Подготовкук поверке РЭМ проводят следующим образом:
- выбираютдля поверки микроскопа рельефную меру нанометрового диапазона страпецеидаль
ным профилем элементов (далее — рельефная мера), линейные размеры и материал для изготовле
ния которой соответствуют требованиям ГОСТ 8.592. Рельефная мера должна быть поверена по
ГОСТ 8.591. Сечение выступа рельефной меры приведено на рисунке 1. В качестве исследуемого эле
мента используют выступ, для которого в паспорте (формуляре) на меру приведено значение проекции
боковой грани выступа на плоскость нижнего основания а. В зависимости от ожидаемого значения
эффективногодиаметра электронного зонда РЭМ dиспользуют рельефную меру, для которой
- *1,5:<1>
а
- проводят осмотр футляра, в котором осуществлялось хранение и транспортирование рельеф
ной меры, на отсутствие механических повреждений;
- проводят проверку соответствия комплекта поставки рельефной меры данным, приведенным в
паспорте (формуляре) на рельефную меру;
- выдерживаютвыбранныйэкземпляр рельефной мерыв помещении, где будетпроведена повер
ка микроскопа, не менее24 ч;
- извлекают рельефную мору изфутляра иосматриваютеедля выявления внешних повреждений
(царапин, сколов идругихдефектов) и загрязнений. При необходимости поверхность меры очищают от
частиц пыли струей очищенногосухоговоздуха.
7.4 Выполняют операции, необходимые для подготовки микроскопа к работе, в соответствии с
требованиями инструкции поего эксплуатации.
8 Проведение поверки
8.1 Внешний осмотр
При внешнем осмотре РЭМдолжно бытьустановлено:
- соответствие комплекта поставки РЭМданным, приведенным в паспорте (формуляре);
- отсутствие механических повреждений всехсоставныхчастей РЭМ;
- отсутствие механическихповрежденийсоединительных кабелей и сетевых разъемов;
- наличие маркировки на РЭМ иее соответствиеданным, приведенным в паспорте (формуляре).
8.2 Опробование
8.2.1 Рельефную меру устанавливают на рабочий стол РЭМ. подлежащего поверке.
8.2.2 Всоответствии с инструкцией по эксплуатации РЭМ проводят подготовительные операции,
которые включаютвсебяоткачку воздуха из камерыобразцов РЭМ. установкуускоряющегонапряжения
ирежимов работыосветительнойсистемы РЭМ, юстировкуэлектронного зондаРЭМ в режиме регистра
ции МВЭ. Ускоряющее напряжение должно обеспечивать необходимые условия функционирования
низковольтного или высоковольтного РЭМ.
8.2.3 Призначенияхэлектронно-оптическогоувеличения РЭМ от 20до 100 определяюттуобласть
на рабочем столе РЭМ. где расположена рельефная мера.
8.2.4 Постепенно повышают электронно-оптическое увеличение РЭМ. при этом на каждом этапе
проводят фокусировку электронного зонда в соответствии с инструкцией по эксплуатации РЭМ. Повы
шениеэлектронно-оптическогоувеличения РЭМ прекращаютпри появлении наэкране РЭМ видеоизоб
ражения выступа, который указан в паспорте (формуляре) рельефной меры в качестве исследуемого
элемента для поверки РЭМ. Схематическое изображение наблюдаемого в режиме регистрации МВЭ
видеопрофиля для выступа с трапецеидальным профилем, сечение которого изображено на
4